[0001]
本高新技术涉及化学清洗装置技术领域，尤其涉及一种清洗液再生循环装置。
背景技术：
[0002]
在半导体等电子行业中，通常需要对加工的电子器件等进行化学清洗。在化学清洗中消耗较大的就是清洗液。现有的清洗设备的清洗液经多级清洗池后直接排出处理，而其中仍有部分可利用的清洗液就会直接浪费掉，给企业增加了成本。
技术实现要素：
[0003]
本高新技术的目的在于克服现有技术的不足，提供一种清洗液再生循环装置。
[0004]
为实现上述目的，本高新技术采用以下技术方案：
[0005]
一种清洗液再生循环装置，其包括：蒸馏箱，与所述蒸馏箱连通的冷凝箱，与所述冷凝箱连通的再生液回收箱，使用过的清洗液抽送至蒸馏箱，在蒸馏箱内加热至沸腾，蒸汽上升至所述冷凝箱，经冷凝后变成再生液回收至所述再生液回收箱以再次利用。
[0006]
其中，所述蒸馏箱内设有加热管，温度传感器，以及液位感应器；所述加热管用于对使用过的清洗液进行快速加热，所述温度传感器用于检测蒸馏箱内的温度，所述液位感应器用于检测蒸馏箱内的清洗液液位。
[0007]
其中，所述蒸馏箱的外壁还设有液位刻度仪，用于实时显示当前蒸馏箱内清洗液的液位值。
[0008]
其中，所述冷凝箱内设有冷凝管，冷凝箱上还设有冷凝进水管和冷凝出水管。
[0009]
其中，所述冷凝箱和再生液回收箱上还共同连通有泄压管。
[0010]
其中，所述泄压管上还设有恒压控制阀。
[0011]
其中，所述再生液回收箱上还设有一用于实时检测再生液回收箱内液位的液位感应器和一用于实时显示当前再生液回收箱内液位值的液位刻度仪。
[0012]
其中，所述再生液回收箱上还设有一抽液泵，所述抽液泵的入口连通于再生液回收箱，出口连通于一过滤器，经所述过滤器过滤后的清洗液即可再次利用。
[0013]
其中，所述抽液泵与过滤器之间的连通管路上还设有抽液泵控制阀。
[0014]
其中，所述蒸馏箱、冷凝箱和再生液回收箱均设置于一外壳内，所述外壳的顶部还设有一报警器。
[0015]
与现有技术相比，本高新技术的一种清洗液再生循环装置，其蒸馏箱、冷凝箱以及过滤器共同实现了清洗液的再生回收利用。再生循环利用清洗液，不仅降低了清洗液的使用量，节约了企业生产成本，而且经济环保。
[0016]
上述说明仅是本高新技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本高新技术技术手段，可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本高新技术的上述和其它目的、特征及优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，详细说明如下。
附图说明
[0017]
图1为本高新技术的清洗液再生循环装置的整体结构示意图。
[0018]
图2为本高新技术的清洗液再生循环装置的正面结构示意图。
[0019]
图3为本高新技术的清洗液再生循环装置的背面结构示意图。
具体实施方式
[0020]
为了使本高新技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，下面结合附图和具体实施方式对本高新技术作进一步详细说明。
[0021]
下面将结合本高新技术实施例中的附图，对本高新技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本高新技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本高新技术中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本高新技术保护的范围。
[0022]
在本高新技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本高新技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本高新技术的限制。
[0023]
此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本高新技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0024]
在本高新技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本高新技术中的具体含义。
[0025]
在本高新技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0026]
在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本高新技术的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不应理解为必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例进行结合和组合。
[0027]
请参阅图1至图3，本实施提供了一种清洗液再生循环装置，其包括：蒸馏箱2，与所
述蒸馏箱2连通的冷凝箱3，与所述冷凝箱3连通的再生液回收箱4，使用过的清洗液抽送至蒸馏箱2，在蒸馏箱2内加热至沸腾，蒸汽上升至所述冷凝箱3，经冷凝后变成再生液回收至所述再生液回收箱4以再次利用。
[0028]
具体的，所述蒸馏箱2内设有加热管21，温度传感器22，以及液位感应器23；所述加热管21用于对使用过的清洗液进行快速加热，所述温度传感器22用于检测蒸馏箱2内的温度，所述液位感应器23用于检测蒸馏箱2内的清洗液液位。
[0029]
其中，所述蒸馏箱2的外壁还设有液位刻度仪24，用于实时显示当前蒸馏箱2内清洗液的液位值。
[0030]
请再次参阅图1，所述冷凝箱3内设有冷凝管(图中未示出)，冷凝箱3上还设有冷凝进水管31和冷凝出水管32，用于从外部向内输送冷凝水和将使用过的冷凝水输出。
[0031]
入图2所示，所述冷凝箱3和再生液回收箱4上还共同连通有泄压管7。其中，所述泄压管7上还设有恒压控制阀71，当压力超过设定值后，自动开启泄压。
[0032]
其中，所述再生液回收箱4上还设有一用于实时检测再生液回收箱4内液位的液位感应器41和一用于实时显示当前再生液回收箱4内液位值的液位刻度仪42。
[0033]
如图3所示，所述再生液回收箱4上还设有一抽液泵8，所述抽液泵8的入口连通于再生液回收箱4，出口连通于一过滤器5，经所述过滤器5过滤后的清洗液即可再次利用。
[0034]
进一步的，所述抽液泵8与过滤器5之间的连通管路上还设有抽液泵控制阀81，抽液泵控制阀81用于控制再生后的清洗液输出给清洗机构。
[0035]
在本实施例中，所述蒸馏箱2、冷凝箱3和再生液回收箱4均设置于一外壳内1，所述外壳1的顶部还设有一报警器6，报警器6用于在整个再生回收装置工作异常时报警。
[0036]
与现有技术相比，本高新技术的一种清洗液再生循环装置，其蒸馏箱、冷凝箱以及过滤器共同实现了清洗液的再生回收利用。再生循环利用清洗液，不仅降低了清洗液的使用量，节约了企业生产成本，而且经济环保。
[0037]
上述仅以实施例来进一步说明本高新技术的技术内容，以便于读者更容易理解，但不代表本高新技术的实施方式仅限于此，任何依本高新技术所做的技术延伸或再创造，均受本高新技术的保护。本高新技术的保护范围以权利要求书为准。
技术特征：
1.一种清洗液再生循环装置，其特征在于，包括：蒸馏箱，与所述蒸馏箱连通的冷凝箱，与所述冷凝箱连通的再生液回收箱，使用过的清洗液抽送至蒸馏箱，在蒸馏箱内加热至沸腾，蒸汽上升至所述冷凝箱，经冷凝后变成再生液回收至所述再生液回收箱以再次利用。2.根据权利要求1所述的清洗液再生循环装置，其特征在于，所述蒸馏箱内设有加热管，温度传感器，以及液位感应器；所述加热管用于对使用过的清洗液进行快速加热，所述温度传感器用于检测蒸馏箱内的温度，所述液位感应器用于检测蒸馏箱内的清洗液液位。3.根据权利要求1所述的清洗液再生循环装置，其特征在于，所述蒸馏箱的外壁还设有液位刻度仪，用于实时显示当前蒸馏箱内清洗液的液位值。4.根据权利要求1所述的清洗液再生循环装置，其特征在于，所述冷凝箱内设有冷凝管，冷凝箱上还设有冷凝进水管和冷凝出水管。5.根据权利要求4所述的清洗液再生循环装置，其特征在于，所述冷凝箱和再生液回收箱上还共同连通有泄压管。6.根据权利要求5所述的清洗液再生循环装置，其特征在于，所述泄压管上还设有恒压控制阀。7.根据权利要求1所述的清洗液再生循环装置，其特征在于，所述再生液回收箱上还设有一用于实时检测再生液回收箱内液位的液位感应器和一用于实时显示当前再生液回收箱内液位值的液位刻度仪。8.根据权利要求1所述的清洗液再生循环装置，其特征在于，所述再生液回收箱上还设有一抽液泵，所述抽液泵的入口连通于再生液回收箱，出口连通于一过滤器，经所述过滤器过滤后的清洗液即可再次利用。9.根据权利要求8所述的清洗液再生循环装置，其特征在于，所述抽液泵与过滤器之间的连通管路上还设有抽液泵控制阀。10.根据权利要求1所述的清洗液再生循环装置，其特征在于，所述蒸馏箱、冷凝箱和再生液回收箱均设置于一外壳内，所述外壳的顶部还设有一报警器。
技术总结
本高新技术公开了一种清洗液再生循环装置，其包括：蒸馏箱，与所述蒸馏箱连通的冷凝箱，与所述冷凝箱连通的再生液回收箱，使用过的清洗液抽送至蒸馏箱，在蒸馏箱内加热至沸腾，蒸汽上升至所述冷凝箱，经冷凝后变成再生液回收至所述再生液回收箱以再次利用。与现有技术相比，本高新技术的一种清洗液再生循环装置，其蒸馏箱、冷凝箱以及过滤器共同实现了清洗液的再生回收利用。再生循环利用清洗液，不仅降低了清洗液的使用量，节约了企业生产成本，而且经济环保。而且经济环保。而且经济环保。
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