[0001]
本高新技术涉及清洗装置技术领域，尤其涉及一种液切循环回收装置。
背景技术：
[0002]
随着半导体行业高速发展，产品高度集成化，需求的清洗液体成本越来越贵，在实际生产中，大部分液体会随着排气口排出。液体的过快消耗，会增加公司的运营成本，由于化学清洗液制造成本很高，循环利用液体和节省成本是半导体公司所迫切需要解决的首要问题。
技术实现要素：
[0003]
本高新技术的目的在于克服现有技术的不足，提供一种液切循环回收装置。
[0004]
为实现上述目的，本高新技术采用以下技术方案：
[0005]
一种液切循环回收装置，其包括：清洗液槽，连通于所述清洗液槽的至少一预清洗腔，连通最末位所述预清洗腔的出口的化学风切腔，连通于所述预清洗腔和化学风切腔的排风通道，连通于所述排风通道的出口端的拉西环组，以及连通于所述拉西环组的后方的多组过滤冷凝组件；从清洗液槽输出的清洗液，经所述化学风切腔风切后的清洗液汽经排风通道输送至所述拉西环组改变风向，再经过滤冷凝组件冷凝后清洗液回流至清洗液槽，气体再次循环至化学风切腔重复利用。
[0006]
其中，所述清洗液槽的腔体内还设有用于对清洗液加热的发热管，以及对清洗液冷却的冷却管。
[0007]
其中，所述清洗液槽上还设有一用于检测清洗液槽内清洗液的液位高度的液位计。
[0008]
其中，所述过滤冷凝组件包括：汽液过滤网，以及位于所述汽液过滤网后方的冷凝管。
[0009]
其中，相邻所述过滤冷凝组件之间设有多孔隔板。
[0010]
其中，所述冷凝管处还设有冷却水进水管和冷却水出水管。
[0011]
其中，所述过滤冷凝组件与化学风切腔之间还设有高压风机，所述高压风机将过滤冷凝后的气体输送给化学风切腔内的高压风刀。
[0012]
其中，所述过滤冷凝组件上还设有排风口，所述排风口上设有气动控制阀。
[0013]
其中，所述预清洗腔的数量为三，分别依次排列为第一预清洗腔，第二预清洗腔和第三预清洗腔，且所述化学风切腔位于第三预清洗腔后方，所述第一预清洗腔、第二预清洗腔与清洗液槽之间通过第二输送管组件连通，所述第二输送管组件包括一端连通于清洗液槽，另一端分别连通于第一预清洗腔和第二预清洗腔的输液管，以及设于所述输液管上的气动隔膜泵；所述输液管上还设有浓度计。
[0014]
其中，所述第三预清洗腔与清洗液槽之间通过第一输送管组件连通，所述第一输送管组件包括：一端连通于清洗液槽，另一端连通于第三预清洗腔的管路，以及依次设置于
所述管路上的常开阀、立式泵浦和过滤器；其中所述过滤器与清洗液槽之间还连接有回流管，所述回流管上设有常闭阀。
[0015]
与现有技术相比，本高新技术的一种液切循环回收装置，其拉西环组、过滤冷凝组件、高压风机以及各管路、控制阀共同实现了清洗液和冷却气体的循环利用，降低了生产成本，同时排放至空气中的气体也符合环保标准。
[0016]
上述说明仅是本高新技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本高新技术技术手段，可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本高新技术的上述和其它目的、特征及优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，详细说明如下。
附图说明
[0017]
图1为本高新技术的液切循环回收装置的管路示意图。
具体实施方式
[0018]
为了使本高新技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，下面结合附图和具体实施方式对本高新技术作进一步详细说明。
[0019]
下面将结合本高新技术实施例中的附图，对本高新技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本高新技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本高新技术中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本高新技术保护的范围。
[0020]
在本高新技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本高新技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本高新技术的限制。
[0021]
此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本高新技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0022]
在本高新技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本高新技术中的具体含义。
[0023]
在本高新技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0024]
在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本高新技术的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不应理解为必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例进行结合和组合。
[0025]
请参阅图1，本实施提供了一种液切循环回收装置，其包括：清洗液槽1，连通于所述清洗液槽1的至少一预清洗腔3，连通最末位所述预清洗腔的出口的化学风切腔4，连通于所述预清洗腔3和化学风切腔4的排风通道51，连通于所述排风通道51的出口端的拉西环组6，以及连通于所述拉西环组6的后方的多组过滤冷凝组件70；从清洗液槽1输出的清洗液，经所述化学风切腔4风切后的清洗液汽经排风通道51输送至所述拉西环组6改变风向，再经过滤冷凝组件70冷凝后清洗液回流至清洗液槽1，气体再次循环至化学风切腔4重复利用。
[0026]
具体的，所述清洗液槽1的腔体内还设有用于对清洗液加热的发热管11，以及对清洗液冷却的冷却管12，所述发热管11和冷却管12的数量根据需要设置，且均匀分布于清洗液槽1的腔体内。其中，所述清洗液槽1上还设有一用于检测清洗液槽内清洗液的液位高度的液位计13，通过所述液位计13，可根据清洗液槽1内的液位在液位低于预设高度时，及时补充清洗液。
[0027]
在本实施例中，所述过滤冷凝组件70包括：汽液过滤网7，以及位于所述汽液过滤网7后方的冷凝管8。
[0028]
其中，相邻所述过滤冷凝组件70之间设有多孔隔板83，所述冷凝管8处还设有冷却水进水管81和冷却水出水管82，多个所述冷凝管8通过所述冷却水进水管81分别连通供水，同理也通过连通于同一冷却水出水管82将冷却后用水输出。
[0029]
在本实施例中，循环的冷却气体通过高压风机9输送至化学风切腔4处，也即所述过滤冷凝组件70与化学风切腔4之间还设有高压风机9，所述高压风机9将过滤冷凝后的气体输送给化学风切腔4内的高压风刀，具体的，所述高压风刀包括位于传送网带5的上方的上高压风刀42和位于传送网带5下方的下高压风刀41，由所述上高压风刀42和下高压风刀41对位于传送网带5上的电子产品板进行化学风切处理。
[0030]
请再次参阅图1，所述过滤冷凝组件70上还设有排风口10，所述排风口10上设有气动控制阀101，具体的，该排风口设于最后一组过滤冷凝组件70处，在本实施例中，过滤冷凝组件70设有三组，以达到充分过滤冷凝。当检测到排风通道51内的压力过大时，会自动打开启动控制阀101，进行内部减压，而从此排出的气体也是经过多次过滤冷凝的气体，符合环保标准。
[0031]
在本实施例中，所述预清洗腔3的数量为三，分别依次排列为第一预清洗腔31，第二预清洗腔32和第三预清洗腔33，且所述化学风切腔4位于第三预清洗腔33后方，所述第一预清洗腔31、第二预清洗腔32与清洗液槽1之间通过第二输送管组件20连通，所述第二输送管组件20包括一端连通于清洗液槽1，另一端分别连通于第一预清洗腔31和第二预清洗腔32的输液管，以及设于所述输液管上的气动隔膜泵202；所述输液管上还设有浓度计201，浓度计201与气动隔膜泵202之间还设有常开阀，用于从输液管中取出清洗液样本进行检测，检测后的样本可以输送至第一预清洗腔31内或排出。
[0032]
进一步的，所述第三预清洗腔33与清洗液槽1之间通过第一输送管组件连通2，所述第一输送管组件2包括：一端连通于清洗液槽1，另一端连通于第三预清洗腔33的管路，以及依次设置于所述管路上的常开阀21、立式泵浦22和过滤器24；其中所述过滤器24与清洗液槽1之间还连接有回流管25，所述回流管25上设有常闭阀25，过滤器24与立式泵浦22之间的管路上还设有立式风压表23，用于检测管路的风压。
[0033]
其中，第一预清洗腔31，第二预清洗腔32和第三预清洗腔33内的内部结构相同，以第二预清洗腔32为例，均包括连通于清洗液槽1的上喷嘴321和下喷嘴322，上喷嘴321和下喷嘴322分别位于传送网带5的上下两侧。并且，在清洗液槽1与上喷嘴321和下喷嘴322之间的管路上还分别设有调节阀323和数显压力表324。
[0034]
与现有技术相比，本高新技术的一种液切循环回收装置，其通过拉西环组、过滤冷凝组件、高压风机以及各管路、控制阀共同实现了清洗液和冷却气体的循环利用，降低了生产成本，同时排放至空气中的气体也符合环保标准。
[0035]
上述仅以实施例来进一步说明本高新技术的技术内容，以便于读者更容易理解，但不代表本高新技术的实施方式仅限于此，任何依本高新技术所做的技术延伸或再创造，均受本高新技术的保护。本高新技术的保护范围以权利要求书为准。
技术特征：
1.一种液切循环回收装置，其特征在于，包括：清洗液槽，连通于所述清洗液槽的至少一预清洗腔，连通最末位所述预清洗腔的出口的化学风切腔，连通所述预清洗腔和化学风切腔的排风通道，连通于所述排风通道的出口端的拉西环组，以及连通于所述拉西环组的后方的多组过滤冷凝组件；从清洗液槽输出的清洗液，经所述化学风切腔风切后的清洗液汽经排风通道输送至所述拉西环组改变风向，再经过滤冷凝组件冷凝后清洗液回流至清洗液槽，气体再次循环至化学风切腔重复利用。2.根据权利要求1所述的液切循环回收装置，其特征在于，所述清洗液槽的腔体内还设有用于对清洗液加热的发热管，以及对清洗液冷却的冷却管。3.根据权利要求2所述的液切循环回收装置，其特征在于，所述清洗液槽上还设有一用于检测清洗液槽内清洗液的液位高度的液位计。4.根据权利要求1所述的液切循环回收装置，其特征在于，所述过滤冷凝组件包括：汽液过滤网，以及位于所述汽液过滤网后方的冷凝管。5.根据权利要求4所述的液切循环回收装置，其特征在于，相邻所述过滤冷凝组件之间设有多孔隔板。6.根据权利要求5所述的液切循环回收装置，其特征在于，所述冷凝管处还设有冷却水进水管和冷却水出水管。7.根据权利要求1所述的液切循环回收装置，其特征在于，所述过滤冷凝组件与化学风切腔之间还设有高压风机，所述高压风机将过滤冷凝后的气体输送给化学风切腔内的高压风刀。8.根据权利要求7所述的液切循环回收装置，其特征在于，所述过滤冷凝组件上还设有排风口，所述排风口上设有气动控制阀。9.根据权利要求1所述的液切循环回收装置，其特征在于，所述预清洗腔的数量为三，分别依次排列为第一预清洗腔，第二预清洗腔和第三预清洗腔，且所述化学风切腔位于第三预清洗腔后方，所述第一预清洗腔、第二预清洗腔与清洗液槽之间通过第二输送管组件连通，所述第二输送管组件包括一端连通于清洗液槽，另一端分别连通于第一预清洗腔和第二预清洗腔的输液管，以及设于所述输液管上的气动隔膜泵；所述输液管上还设有浓度计。10.根据权利要求9所述的液切循环回收装置，其特征在于，所述第三预清洗腔与清洗液槽之间通过第一输送管组件连通，所述第一输送管组件包括：一端连通于清洗液槽，另一端连通于第三预清洗腔的管路，以及依次设置于所述管路上的常开阀、立式泵浦和过滤器；其中所述过滤器与清洗液槽之间还连接有回流管，所述回流管上设有常闭阀。
技术总结
本高新技术公开了一种液切循环回收装置，包括：清洗液槽，连通于清洗液槽的至少一预清洗腔，连通最末位预清洗腔的出口的化学风切腔，连通于预清洗腔和化学风切腔的排风通道，连通于排风通道的出口端的拉西环组，以及连通于拉西环组的后方的多组过滤冷凝组件；经化学风切腔风切后的清洗液汽经排风通道输送至拉西环组改变风向，再经过滤冷凝组件冷凝后清洗液回流至清洗液槽，气体再次循环至化学风切腔重复利用。与现有技术相比，本高新技术的一种液切循环回收装置，其拉西环组、过滤冷凝组件、高压风机以及各管路、控制阀共同实现了清洗液和冷却气体的循环利用，降低了生产成本，同时排放至空气中的气体也符合环保标准。排放至空气中的气体也符合环保标准。排放至空气中的气体也符合环保标准。
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