高新单晶硅片的清洗架技术

高新单晶硅片的清洗架技术

本高新技术涉及单晶硅加工技术领域,尤其涉及一种用于单晶硅片的清洗架。

背景技术:

单晶硅是一种比较活泼的非金属元素,是晶体材料的重要组成部分,处于新材料发展的前沿。其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等。由于太阳能具有清洁、环保、方便等诸多优势,近三十年来,太阳能利用技术在研究开发、商业化生产、市场开拓方面都获得了长足发展,成为世界快速、稳定发展的新兴产业之一。

单晶硅可以用于二极管级、整流器件级、电路级以及太阳能电池级单晶产品的生产和深加工制造,其后续产品集成电路和半导体分离器件已广泛应用于各个领域,在军事电子设备中也占有重要地位。

单晶硅片在生产加工过程中,需要进行多次清洗,通常操作是:将单晶硅片在固定装置内排好,将固定装置逐次摆放在清洗架内,将清洗架放置在清洗机内进行清洗,现有的清洗架在使用中发现,其仅能对固定装置起到整齐码放的作用,无法对固定装置起到完全有效的限位作用,固定装置在清洗过程中容易滑出清洗架,造成单晶硅片的破碎,碎片掉落至清洗机内易导致设备故障,且破碎的单晶硅片极细小,给维修造成了极大的困难。

技术实现要素:

根据以上技术问题,本高新技术提供一种用于单晶硅片的清洗架,包括主体框架、提手、加强板、安装板、滑板、挡板、限位弹簧、挂钩、固定环,所述主体框架由底部横杆、顶部横杆、纵杆构成立方体结构,所述顶部横杆与纵杆之间固定连接有加强板,所述主体框架的顶部两侧对称设有提手,所述主体框架上固定安装有安装板,所述安装板为2组共8块,2组安装板分别相对于主体框架左右对称设置;

所述安装板上通过螺栓水平安装有滑板,所述滑板截面为l型结构,其一端设有挡板,所述主体框架与挡板相对的另一端的底部横杆上设有固定环,所述底部横杆、顶部横杆之间设有限位弹簧,所述限位弹簧的顶部与顶部横杆固定焊接,底端设有挂钩,通过挂钩与固定环相连接。

进一步的,所述提手为半圆弧型结构。

进一步的,所述安装板竖直设置,其上下两端分别与顶部横杆、底部横杆固定连接。

进一步的,所述滑板的长度等于主体框架的长度。

进一步的,所述挡板凸出于滑板所在的水平面。

本高新技术的有益效果为:本高新技术为一种用于单晶硅片的清洗架,其不仅可以对单晶硅片的固定装置起到整齐码放的作用,通过挡板及限位弹簧也可以对固定装置起到完全有效的限位作用,从根源上杜绝了固定装置滑出清洗架的可能性,同时限位弹簧由于自身的弹性,使得固定装置在清洗的过程中发生位移撞击到限位弹簧时,起到一定的缓冲作用,避免造成单晶硅片的破碎,消除了碎片可能导致的设备故障问题及维修困难。

附图说明

图1为本高新技术侧视图;

图2为本高新技术正视图;

图3为滑板结构示意图。

如图,主体框架-1、底部横杆-101、顶部横杆-102、纵杆-103、提手-2、加强板-3、安装板-4、滑板-5、挡板-6、限位弹簧-7、挂钩-8、固定环-9。

具体实施方式

下面结合附图所示,对本高新技术进行进一步说明:本高新技术为一种用于单晶硅片的清洗架,包括主体框架1、提手2、加强板3、安装板4、滑板5、挡板6、限位弹簧7、挂钩8、固定环9,所述主体框架1由底部横杆101、顶部横杆102、纵杆103构成立方体结构,所述顶部横杆101与纵杆103之间固定连接有加强板3,所述主体框架1的顶部两侧对称设有提手2,所述主体框架1上固定安装有安装板4,所述安装板4为2组共8块,2组安装板4分别相对于主体框架1左右对称设置;

所述安装板4上通过螺栓水平安装有滑板5,所述滑板5截面为l型结构,其一端设有挡板6,所述主体框架1与挡板6相对的另一端的底部横杆101上设有固定环9,所述底部横杆101、顶部横杆102之间设有限位弹簧7,所述限位弹簧7的顶部与顶部横杆102固定焊接,底端设有挂钩8,通过挂钩8与固定环9相连接。

进一步的,所述提手2为半圆弧型结构。

进一步的,所述安装板4竖直设置,其上下两端分别与顶部横杆102、底部横杆101固定连接。

进一步的,所述滑板5的长度等于主体框架1的长度。

进一步的,所述挡板6凸出于滑板5所在的水平面。

工作原理:将固定装置依次由滑板5未设挡板6的一端滑动安装在清洗架上,排好后将限位弹簧7底部的挂钩8钩取在底部的固定环9上,从而通过挡板6及限位弹簧7完成对固定装置的完全限位,将清洗架放入清洗机内进行清洗即可。本高新技术从根源上杜绝了固定装置滑出清洗架的可能性,同时限位弹簧由于自身的弹性,使得固定装置在清洗的过程中发生位移撞击到限位弹簧时,起到一定的缓冲作用,避免造成单晶硅片的破碎,消除了碎片可能导致的设备故障问题及维修困难。

以上所述仅是本高新技术的优选实施方式,应当指出的是,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本高新技术原理的前提下,还可以做出若干改进,这些改进也应视为本高新技术的保护范围。

技术特征:

1.一种用于单晶硅片的清洗架,其特征在于,包括主体框架、提手、加强板、安装板、滑板、挡板、限位弹簧、挂钩、固定环,所述主体框架由底部横杆、顶部横杆、纵杆构成立方体结构,所述顶部横杆与纵杆之间固定连接有加强板,所述主体框架的顶部两侧对称设有提手,所述主体框架上固定安装有安装板,所述安装板为2组共8块,2组安装板分别相对于主体框架左右对称设置;

所述安装板上通过螺栓水平安装有滑板,所述滑板截面为l型结构,其一端设有挡板,所述主体框架与挡板相对的另一端的底部横杆上设有固定环,所述底部横杆、顶部横杆之间设有限位弹簧,所述限位弹簧的顶部与顶部横杆固定焊接,底端设有挂钩,通过挂钩与固定环相连接。

2.按照权利要求1所述的一种用于单晶硅片的清洗架,其特征在于,所述提手为半圆弧型结构。

3.按照权利要求1所述的一种用于单晶硅片的清洗架,其特征在于,所述安装板竖直设置,其上下两端分别与顶部横杆、底部横杆固定连接。

4.按照权利要求1所述的一种用于单晶硅片的清洗架,其特征在于,所述滑板的长度等于主体框架的长度。

5.按照权利要求1所述的一种用于单晶硅片的清洗架,其特征在于,所述挡板凸出于滑板所在的水平面。

技术总结
一种用于单晶硅片的清洗架,包括主体框架、提手、加强板、安装板、滑板、挡板、限位弹簧、挂钩、固定环,所述主体框架由底部横杆、顶部横杆、纵杆构成立方体结构,顶部横杆与纵杆之间固定连接有加强板,所述主体框架的顶部两侧对称设有提手,所述主体框架上固定安装有安装板,安装板上通过螺栓水平安装有滑板,主体框架与挡板相对的另一端的底部横杆上设有固定环,所述底部横杆、顶部横杆之间设有限位弹簧。本高新技术杜绝了固定装置滑出清洗架的可能性,同时限位弹簧由于自身的弹性,使得固定装置在清洗的过程中发生位移撞击到限位弹簧时,起到一定的缓冲作用,避免造成单晶硅片的破碎,消除了碎片可能导致的设备故障问题及维修困难。

技术开发人、权利持有人:王海军;薛佳勇;薛佳伟

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