专利名称：高新二氧化碳离子水发泡机混合单元技术
技术领域：
本发明涉及芯片制造加工领域，特别的涉及一种用于芯片清洗的二氧化碳离子水 发泡机。
背景技术：
在芯片制造设备中，为防止静电对被加工的芯片产生破坏，需要对去离子水进行 离子化处理，以消除静电。在常温下，二氧化碳可部分溶解于去离子水中产生氢离子和碳酸 根离子形成离子水。由于该离子水干燥后，其中的离子变为二氧化碳后挥发掉，在被处理的 芯片上不会残留任何杂质。因此二氧化碳离子水被广泛应用到芯片制造的各个工艺步骤 中。由于芯片制造对离子水的纯度要求十分严格，因此在离子水制备过程中不得使用机械 手段来促使二氧化碳在水中的溶解。目前制备二氧化碳离子水都有专用的发泡机，二氧化 碳气体通过进气管经电磁阀与通过进液管内去离子水在三通管内进行混合，再经过一段较 长的混合管道使二氧化碳气体溶解在水中形成离子水，然后通过电导率探头检测离子水的 电导率，即检测水中的离子浓度，并将该电导率反馈到一个控制器内，控制器根据检测信号 调整电磁阀的通断频率以调整二氧化碳的进气量，从而控制制成的离子水的离子浓度。上述发泡机获得的离子水直接来自二氧化碳与去离子水的混合三通管，离子水的 浓度波动较大，而且离子水中气泡较多，不利于直接用来进行芯片清洗。
发明内容
本发明的目的是提供一种结构简单，能够有效提高所制备离子水的离子浓度稳定 性的二氧化碳离子水发泡机混合单元。本发明为达到上述目的的技术方案是一种二氧化碳离子水发泡机混合单元，具有去离子水进口、二次离子水出口、一次 离子水进口和混合腔体，上述混合腔体与上述去离子水口、二次离子水出口及一次离子水 进口都分别连通。上述去离子水进口与混合腔体之间设有只能去离子水通过的单向阀。上述混合腔体内设有螺旋形的混合通道，上述混合通道的进口端分别与单向阀、 一次离子水进口连通，混合通道的出口端与混合腔体连通。上述二次离子水出口处设有用来检测离子浓度的电导率探头。本发明混合单元作为获得二氧化碳离子水后的二次处理单元，有利于获得浓度稳 定的离子水，而且经过混合单元后离子水中气泡可以尽量释放出去，方便了芯片的清洗作 业。
下面结合附图对本发明的实施例做进一步的详细描述。图1是本发明混合单元的结构示意图。
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图2是图1的剖面示意图。图3是图1中A-A向剖面示意图。图4是图1中B-B向剖面示意图。
具体实施例方式本发明二氧化碳离子水发泡机混合单元用来进行二氧化碳离子水的二次混合，即 将第一次获得的离子水再次与去离子水进行混合，得到稳定的最终所需浓度的离子水，同 时去除一次离子水中的气泡。见图1、图2、图3和图4，混合单元大体呈“L”型，具有去离子水进口 1、二次离子 水出口 2、一次离子水进口 7和混合腔体4，上述去离子水进口、二次离子水出口和一次离子 水进口分别与混合腔体连通，第一次混合得到的离子水通过一次离子水进口进入混合腔体 与去离子水进行第二混合，然后从二次离子水出口出去，获得所需浓度的离子水。为了防止混合腔体4中的离子水倒流进入去离子水管道，在去离子水进口 1与混 合腔体之间设有单向阀5，单向阀只能允许去离子水通过进入混合腔体中。混合腔体内还设 有螺旋形的混合通道6，上述混合通道的进口端分别与单向阀5、一次离子水进口 7连通，混 合通道的出口端与混合腔体连通，混合通道可以保证第一次混合获得的离子水与去离子水 充分混合。经过二次混合的离子水由混合腔体从二次离子水出口 2流出，二次离子水出口处 设有电导率探头3用来检测第二次混合过的离子水浓度，确保达到设定的浓度值。为了方 便本新型混合单元在液路中的连接使用，混合单元上与去离子水进口 1相对侧还设有去离 子水出口 11。显然，本发明的上述具体实施方式
仅是为清楚地说明本发明所作的举例，而并非 是对本发明实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还 可以容易的做出其它形式上的变化或者替代，而这些改变或者替代也将包含在本发明确定 的保护范围之内。
权利要求
1.一种二氧化碳离子水发泡机混合单元，其特征在于具有去离子水进口(1)、二次离 子水出口 O)、一次离子水进口(7)和混合腔体G)，上述混合腔体与上述去离子水口、二次 离子水出口及一次离子水进口都分别连通。
2.根据权利要求1所述的二氧化碳离子水发泡机混合单元，其特征在于上述去离子 水进口(1)与混合腔体(4)之间设有只能去离子水通过的单向阀(5)。
3.根据权利要求1所述的二氧化碳离子水发泡机混合单元，其特征在于上述混合腔 体内设有螺旋形的混合通道(6)，上述混合通道的进口端分别与单向阀(5)、一次离子水进 口(7)连通，混合通道的出口端与混合腔体连通。
4.根据权利要求1所述的二氧化碳离子水发泡机混合单元，其特征在于上述二次离 子水出口(2)处设有用来检测离子浓度的电导率探头(3)。
全文摘要
本发明涉及芯片制造加工领域，特别的涉及一种用于芯片清洗的二氧化碳离子水发泡机。目的是提供一种结构简单，能够有效提高所制备离子水的离子浓度稳定性的二氧化碳离子水发泡机混合单元。一种二氧化碳离子水发泡机混合单元，具有去离子水进口、二次离子水出口、一次离子水进口和混合腔体，上述混合腔体与上述去离子水口、二次离子水出口及一次离子水进口都分别连通。本发明混合单元作为获得二氧化碳离子水后的二次处理单元，有利于获得浓度稳定的离子水，而且经过混合单元后离子水中气泡可以尽量释放出去，方便了芯片的清洗作业。
文档编号C02F1/68GK102145262SQ20111003032
公开日2011年8月10日 申请日期2011年1月28日 优先权日2011年1月28日
发明者吉保国, 徐飞, 邬治国, 金海涛 申请人:常州瑞择微电子科技有限公司
