[0001]
本高新技术涉及硅片生产技术领域，尤其涉及一种硅片清洗机用清洗槽
背景技术：
[0002]
目前，在集成电路的制造过程中，需要对硅片进行清洗。目前一般采用超声波清洗槽清洗硅片，但常用的超声波清洗槽，虽能够进行整批硅片的清洗，但是清洗硅片前安装固定硅片不够方便，导致硅片清洗效率低下，并且硅片固定夹持不够稳定，固定硅片后，导致硅片与清洗液接触面积减小，造成清洗不彻底的现象。
技术实现要素：
[0003]
本高新技术的目的在于提供一种硅片清洗机用清洗槽，以解决上述背景技术中提出的问题。
[0004]
为实现上述目的，本高新技术提供如下技术方案：
[0005]
一种硅片清洗机用清洗槽，包括槽体，安装在槽体内壁的超声振子以及槽体内的用于夹持硅片的夹持机构。
[0006]
所述夹持机构有若干个阵列排布的夹持单元组成，夹持单元包括导轨、两块夹持板，导轨上开设导向槽，导轨的两端分别设有弹性夹紧组件；其中相邻的夹持单元内的导轨固定连接呈一体状。
[0007]
两块夹持板对称设于导轨上，夹持板的底端通过与所述导向槽配合的滑块滑动连接于导轨，两个弹性夹紧组件分别用于驱动同侧的夹持板向导轨的中部靠近。
[0008]
进一步的，两块所述夹持板相靠近的侧面开设有用于夹持硅片的夹持槽。
[0009]
进一步的，所述夹持槽的顶端贯穿于夹持板的顶面，且夹持槽内壁与夹持板的顶面之间通过圆角过渡。
[0010]
进一步的，所述弹性夹紧组件包括固定在导轨端部的固定块以及连接固定块和对应夹持板的弹簧。
[0011]
进一步的，所述固定块横跨设于导轨上的导向槽两侧，固定块的相对两侧均外凸有定位板，定位板通过螺钉与导轨固定，导轨上沿长度方向开设若干与上述螺钉配合的螺纹槽。
[0012]
本高新技术的有益效果是：
[0013]
本高新技术设计了槽体，槽体内设有夹持机构，夹持机构内含多个相同的夹持单元，将硅片放到槽体内的夹持机构内，在硅片未插入到夹持机构内的两块夹持板之间时，由于弹性夹紧组件的作用，两块夹持板之间的距离小于硅片的宽度，当硅片插入时顺着圆角逐渐插入到两块夹持板之间，从而硅片挤压两块夹持板压缩两侧的弹性夹紧组件向导轨的两端移动，最后硅片完全插入时，松开硅片两块夹持板自动夹紧硅片，并且硅片的两端夹持在夹持槽内，避免硅片清洗时发生晃动而掉落，同时，本装置夹持稳定可靠，不影响硅片的清洗使用，使用方便快捷。
附图说明
[0014]
此处所说明的附图用来提供对本高新技术的进一步理解，构成本申请的一部分，本高新技术的示意性实施例及其说明用于解释本高新技术，并不构成对本高新技术的不当限定。在附图中：
[0015]
图1为本高新技术的整体结构示意图；
[0016]
图2为本高新技术的夹持机构的机构示意图；
[0017]
图3为本高新技术的夹持单元的结构示意图；
[0018]
图4为本高新技术的部分结构放大图。
[0019]
图中：槽体1、夹持机构2、导轨21、导向槽300、夹持板301、夹持槽4、圆角401、固定块500、弹簧501、定位板502。
具体实施方式
[0020]
下面将结合本高新技术实施例中的附图，对本高新技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本高新技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本高新技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本高新技术保护的范围。
[0021]
参见图1-4，一种硅片清洗机用清洗槽，包括槽体1，安装在槽体1内壁的超声振子以及槽体1内的用于夹持硅片的夹持机构2。
[0022]
所述夹持机构2有若干个阵列排布的夹持单元组成，夹持单元包括导轨21、两块夹持板301，导轨21上开设导向槽300，导轨21的两端分别设有弹性夹紧组件；其中相邻的夹持单元内的导轨21固定连接呈一体状。
[0023]
两块夹持板301对称设于导轨21上，夹持板301的底端通过与所述导向槽300配合的滑块滑动连接于导轨21，两个弹性夹紧组件分别用于驱动同侧的夹持板301向导轨21的中部靠近。
[0024]
进一步的，两块所述夹持板301相靠近的侧面开设有用于夹持硅片的夹持槽4。
[0025]
进一步的，所述夹持槽4的顶端贯穿于夹持板301的顶面，且夹持槽4内壁与夹持板的顶面之间通过圆角401过渡；便于使用，方便硅片插入到两块夹持板301之间。
[0026]
进一步的，所述弹性夹紧组件包括固定在导轨21端部的固定块 500以及连接固定块500和对应夹持板301的弹簧501；结构简单方便安装。
[0027]
进一步的，所述固定块500横跨设于导轨21上的导向槽300两侧，固定块500的相对两侧均外凸有定位板502，定位板502通过螺钉与导轨21固定，导轨21上沿长度方向开设若干与上述螺钉配合的螺纹槽；便于调节固定块500在导轨21上的位置，从而方便调节弹性夹紧组件的弹性力。
[0028]
本高新技术在使用时，将硅片放到槽体内的夹持机构2内，在硅片未插入到夹持机构内的两块夹持板301之间时，由于弹性夹紧组件的作用，两块夹持板301之间的距离小于硅片的宽度，当硅片插入时顺着圆角401逐渐插入到两块夹持板301之间，从而硅片挤压两块夹持板301压缩两侧的弹性夹紧组件向导轨的两端移动，最后硅片完全插入时，松开硅片两块夹持板301自动夹紧硅片，并且硅片的两端夹持在夹持槽内，避免硅片清洗时发生晃动而掉落，同时，本装置夹持稳定可靠，不影响硅片的清洗使用，使用方便快捷。
[0029]
尽管已经示出和描述了本高新技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本高新技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本高新技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
技术特征：
1.一种硅片清洗机用清洗槽，包括槽体，安装在槽体内壁的超声振子以及槽体内的用于夹持硅片的夹持机构，其特征在于：所述夹持机构有若干个阵列排布的夹持单元组成，夹持单元包括导轨、两块夹持板，导轨上开设导向槽，导轨的两端分别设有弹性夹紧组件；两块夹持板对称设于导轨上，夹持板的底端通过与所述导向槽配合的滑块滑动连接于导轨，两个弹性夹紧组件分别用于驱动同侧的夹持板向导轨的中部靠近。2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机用清洗槽，其特征在于：两块所述夹持板相靠近的侧面开设有用于夹持硅片的夹持槽。3.根据权利要求2所述的一种硅片清洗机用清洗槽，其特征在于：所述夹持槽的顶端贯穿于夹持板的顶面，且夹持槽内壁与夹持板的顶面之间通过圆角过渡。4.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机用清洗槽，其特征在于：所述弹性夹紧组件包括固定在导轨端部的固定块以及连接固定块和对应夹持板的弹簧。5.根据权利要求4所述的一种硅片清洗机用清洗槽，其特征在于：所述固定块横跨设于导轨上的导向槽两侧，固定块的相对两侧均外凸有定位板，定位板通过螺钉与导轨固定，导轨上沿长度方向开设若干与上述螺钉配合的螺纹槽。
技术总结
本高新技术公开了一种硅片清洗机用清洗槽，包括槽体，安装在槽体内壁的超声振子以及槽体内的用于夹持硅片的夹持机构，所述夹持机构有若干个阵列排布的夹持单元组成，夹持单元包括导轨、两块夹持板，导轨上开设导向槽，导轨的两端分别设有弹性夹紧组件；其中相邻的夹持单元内的导轨固定连接呈一体状，两块夹持板对称设于导轨上，夹持板的底端通过与所述导向槽配合的滑块滑动连接于导轨，两个弹性夹紧组件分别用于驱动同侧的夹持板向导轨的中部靠近，两块所述夹持板相靠近的侧面开设有用于夹持硅片的夹持槽。本高新技术结构简单，方便使用，能够快速夹持多块硅片，方便硅片清洗使用，提高硅片的清洗效率。高硅片的清洗效率。高硅片的清洗效率。
技术开发人、权利持有人：饶海峰 沈传进 许天红 张峰 孙小龙 陈兆民
