[0001]
本发明涉及硅片清洗晃动技术领域，具体来说，涉及一种用于硅片清洗的花篮晃动装置。
背景技术：
[0002]
硅片是一种微电子技术，硅片制成的芯片是有名的“神算子”，有着惊人的运算能力，无论多么复杂的数学问题、物理问题和工程问题，也无论计算的工作量有多大，工作人员只要通过计算机键盘把问题告诉它，并下达解题的思路和指令，计算机就能在极短的时间内把答案告诉你，主要应用在航空、航天、工业、农业、国防和家庭等领域，当硅片外部灰尘聚集较多时时，需要使用花篮配合清洁剂和晃动装置进行清洗。
[0003]
然而现有的一种用于硅片清洗的花篮晃动装置应用时存在以下问题：无法使用一组电机使花篮完成全角度晃动，传统的晃动装置需要使用多种动力装置相互配合，完成花篮的全方位晃动，长时间使用时会增加硅片的清洗成本，为用于硅片清洗的花篮晃动装置的晃动使用带来资源的浪费，其次，花篮的侧壁形状多种多样，传统的连接结构无法适应多种规格花篮的连接，为用于硅片清洗的花篮晃动装置的连接使用带来局限性，最后，传统的用于硅片清洗的花篮晃动装置侧壁沾染的清洁剂，需要操作工人手动清洁，为用于硅片清洗的花篮晃动装置的清洁使用带来不便。
[0004]
针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的解决方案。
技术实现要素：
[0005]
(一)解决的技术问题
[0006]
针对现有技术的不足，本发明提供了一种用于硅片清洗的花篮晃动装置，具备可配合使用一组电机，完成花篮的全角度晃动、同种连接结构可适应多种规格花篮的连接、用于硅片清洗的花篮晃动装置表面沾染的清洁剂无需手动清洁的优点，进而解决上述背景技术中的问题。
[0007]
(二)技术方案
[0008]
为实现上述可配合使用一组电机，完成花篮的全角度晃动、同种连接结构可适应多种规格花篮的连接、用于硅片清洗的花篮晃动装置表面沾染的清洁剂无需手动清洁的优点，本发明采用的具体技术方案如下：
[0009]
一种用于硅片清洗的花篮晃动装置，包括外壳，所述外壳的内部底面固定安装有电机，且电机的输出端卡接安装有转动轴，所述外壳的开口处固定安装有密封板，所述转动轴的一端贯穿密封板，所述密封板的上方安装有全角度晃动板，且全角度晃动板的上方安装有两组形变弹簧钢带，所述外壳的下端侧壁固定套接安装有环状安装板，所述全角度晃动板与环状安装板之间安装有铁片抖液管。
[0010]
进一步的，所述全角度晃动板的下部设置有球窝和四组伸缩弹簧，所述球窝的内部滚动安装有球头，且球头的侧壁固定安装有支撑杆，并且支撑杆的一端与转动轴的一端
固定连接，四组所述伸缩弹簧的外部侧壁均套接安装有伸缩软管，四组所述伸缩弹簧和四组所述伸缩软管的一端安装有环状t型滑板，且环状t型滑板的下部设置有若干组内置球槽，并且若干组所述内置球槽的内部均滚动安装有滚球，所述密封板的上部设置有第一环状t型滑槽，所述环状t型滑板位于第一环状t型滑槽的内部，所述密封板与全角度晃动板的相向面均固定安装有抵触头，所述支撑杆的侧壁固定套接安装有套板，且套板的上部贯穿安装有两组拉绳，并且两组所述拉绳的一端与全角度晃动板的下部固定连接，两组所述拉绳的另一端均固定安装有限位板。
[0011]
进一步的，所述球窝开口处的横截面尺寸小于球头的最大横截面尺寸。
[0012]
进一步的，四组所述伸缩弹簧的最大横截面长度小于四组所述伸缩软管的最小横截面长度。
[0013]
进一步的，所述全角度晃动板的侧壁固定安装有两组伸缩杆，且两组所述伸缩杆的一端均固定安装有固定板，两组所述形变弹簧钢带的两端分别贯穿两组所述固定板，两组所述形变弹簧钢带的两端均固定套接安装有螺纹管，且两组所述螺纹管的外部侧壁均套接安装有紧固管，并且两组所述紧固管的相向端分别与两组所述固定板的远离端紧密接触，两组所述紧固管的内部侧壁设置有内螺纹，两组所述形变弹簧钢带的相向端均设置有锯齿。
[0014]
进一步的，两组所述内螺纹与两组所述螺纹管相互啮合。
[0015]
进一步的，所述全角度晃动板与环状安装板的相向面均设置有第二环状t型滑槽，两组所述第二环状t型滑槽的相向端均设置有两组操作孔，所述铁片抖液管的两端分别位于两组所述第二环状t型滑槽的内部，所述铁片抖液管的两端侧壁分别设置有两组内置凸型槽，且四组所述内置凸型槽的内部端部均固定安装有复位弹簧，并且四组所述复位弹簧的一端均固定安装有抵触杆，四组所述抵触杆的一端均固定安装有抵触板，四组所述抵触板的一端分别与两组所述第二环状t型滑槽的内部侧壁接触。
[0016]
进一步的，四组所述复位弹簧均处于压缩状态。
[0017]
进一步的，两组所述第二环状t型滑槽均位于同一垂直线上。
[0018]
进一步的，所述环状安装板的上部设置有四组安装孔。
[0019]
(三)有益效果
[0020]
与现有技术相比，本发明提供了一种用于硅片清洗的花篮晃动装置，具备以下有益效果：
[0021]
(1)、本发明通过全角度晃动板，当电机开始工作时，带动转动轴、支撑杆和套板做同步运动，旋转的套板使两组拉绳发生形变，当套板接触两组限位板时，会扯动全角度晃动板旋转，旋转的全角度晃动板会使两组抵触头发生碰撞，此时利用球窝和球头，会使全角度晃动板纵向晃动，此时四组伸缩弹簧会发生形变，四组伸缩弹簧受自身弹力作用，带动全角度晃动板进行复位，当两组抵触头再次发生碰撞，使全角度晃动板继续纵向旋转晃动，重复旋转使用时，全角度晃动板始终带动花篮晃动，四组伸缩软管防止四组伸缩弹簧接触液体，环状t型滑板与第一环状t型滑槽不妨碍四组伸缩弹簧跟随全角度晃动板旋转，若干组所述内置球槽和若干组所述滚球，便于环状t型滑板旋转使用，通过设置的全角度晃动板，可配合使用一组电机，完成花篮的全角度晃动，为用于硅片清洗的花篮晃动装置的晃动使用带来资源的浪费。
[0022]
(2)、本发明通过形变弹簧钢带，当需要安装花篮时，调节两组伸缩杆，当两组固定板移动到预期位置时，将花篮放置两组形变弹簧钢带之间，再利用两组内螺纹与两组螺纹管相互啮合，顺时针旋转两组螺纹管，当两组紧固管的相向端分别与两组固定板的远离端紧密接触，两组形变弹簧钢带的侧壁会与花篮的外部侧壁紧密接触，两组锯齿增大两组形变弹簧钢带与花篮之间的摩擦力，通过设置的形变弹簧钢带，使同种连接结构可适应多种规格花篮的连接，为用于硅片清洗的花篮晃动装置的连接使用带来便利。
[0023]
(3)、本发明通过铁片抖液管，当需要安装铁片抖液管时，相向移动四组抵触板，四组伸缩复位弹簧处于压缩状态，当四组抵触板分别位于四组内置凸型槽的内部时，将铁片抖液管的两端分别插入两组第二环状t型滑槽的内部，当插入完毕时，四组伸缩复位弹簧受自身弹力作用，抵住四组抵触杆移动，当四组抵触板与两组第二环状t型滑槽的内部侧壁紧密接触时，停止运动，铁片抖液管会跟随全角度晃动板旋转晃动，其表面沾染的清洁剂，会被震动脱离，当需要卸下铁片抖液管时，利用四组操作孔，再次将四组抵触板塞入四组内置凸型槽的内部，可抽出铁片抖液管，通过设置的铁片抖液管，拦截清洁剂与用于硅片清洗的花篮晃动装置表面接触，且沾染的清洁剂无需手动清洁，为用于硅片清洗的花篮晃动装置的清洁使用带来便利。
附图说明
[0024]
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0025]
图1是根据本发明实施例的一种用于硅片清洗的花篮晃动装置的结构示意图；
[0026]
图2是根据本发明实施例的伸缩软管的立体图；
[0027]
图3是根据本发明实施例的环状t型滑板的立体图；
[0028]
图4是根据本发明实施例的形变弹簧钢带的平面图；
[0029]
图5是根据本发明实施例的图1中a的放大图；
[0030]
图6是根据本发明实施例的图1中b的放大图；
[0031]
图7是根据本发明实施例的图1中c的放大图。
[0032]
图中：
[0033]
1、外壳；2、电机；3、转动轴；4、密封板；5、支撑杆；6、全角度晃动板；7、形变弹簧钢带；8、环状安装板；9、铁片抖液管；10、内螺纹；11、安装孔；12、球窝；13、球头；14、伸缩弹簧；15、伸缩软管；16、环状t型滑板；17、内置球槽；18、滚球；19、第一环状t型滑槽；20、抵触头；21、伸缩杆；22、固定板；23、锯齿；24、螺纹管；25、紧固管；26、第二环状t型滑槽；27、内置凸型槽；28、复位弹簧；29、抵触杆；30、抵触板；31、套板；32、拉绳；33、限位板；34、操作孔。
具体实施方式
[0034]
为进一步说明各实施例，本发明提供有附图，这些附图为本发明揭露内容的一部分，其主要用以说明实施例，并可配合说明书的相关描述来解释实施例的运作原理，配合参考这些内容，本领域普通技术人员应能理解其他可能的实施方式以及本发明的优点，图中
的组件并未按比例绘制，而类似的组件符号通常用来表示类似的组件。
[0035]
根据本发明的实施例，提供了一种用于硅片清洗的花篮晃动装置。
[0036]
现结合附图和具体实施方式对本发明进一步说明，如图1-7所示，根据本发明实施例的一种用于硅片清洗的花篮晃动装置，包括外壳1，外壳1的内部底面固定安装有电机2，且电机2的输出端卡接安装有转动轴3，外壳1的开口处固定安装有密封板4，转动轴3的一端贯穿密封板4，密封板4的上方安装有全角度晃动板6，且全角度晃动板6的上方安装有两组形变弹簧钢带7，外壳1的下端侧壁固定套接安装有环状安装板8，全角度晃动板6与环状安装板8之间安装有铁片抖液管9。
[0037]
在一个实施例中，全角度晃动板6的下部设置有球窝12和四组伸缩弹簧14，球窝12的内部滚动安装有球头13，且球头13的侧壁固定安装有支撑杆5，并且支撑杆5的一端与转动轴3的一端固定连接，四组伸缩弹簧14的外部侧壁均套接安装有伸缩软管15，四组伸缩弹簧14和四组伸缩软管15的一端安装有环状t型滑板16，且环状t型滑板16的下部设置有若干组内置球槽17，并且若干组内置球槽17的内部均滚动安装有滚球18，密封板4的上部设置有第一环状t型滑槽19，环状t型滑板16位于第一环状t型滑槽19的内部，密封板4与全角度晃动板6的相向面均固定安装有抵触头20，支撑杆5的侧壁固定套接安装有套板31，且套板31的上部贯穿安装有两组拉绳32，并且两组拉绳32的一端与全角度晃动板6的下部固定连接，两组拉绳32的另一端均固定安装有限位板33，通过设置的全角度晃动板6，可配合使用一组电机2，完成花篮的全角度晃动，为用于硅片清洗的花篮晃动装置的晃动使用带来资源的浪费。
[0038]
在一个实施例中，球窝12开口处的横截面尺寸小于球头13的最大横截面尺寸，避免因球窝12开口处的横截面尺寸过大，导致球头13脱离球窝12。
[0039]
在一个实施例中，四组伸缩弹簧14的最大横截面长度小于四组伸缩软管15的最小横截面长度，避免因四组伸缩软管15的最小横截面长度过小，影响四组伸缩弹簧14的伸缩使用。
[0040]
在一个实施例中，全角度晃动板6的侧壁固定安装有两组伸缩杆21，且两组伸缩杆21的一端均固定安装有固定板22，两组形变弹簧钢带7的两端分别贯穿两组固定板22，两组形变弹簧钢带7的两端均固定套接安装有螺纹管24，且两组螺纹管24的外部侧壁均套接安装有紧固管25，并且两组紧固管25的相向端分别与两组固定板22的远离端紧密接触，两组紧固管25的内部侧壁设置有内螺纹10，两组形变弹簧钢带7的相向端均设置有锯齿23，通过设置的形变弹簧钢带7，使同种连接结构可适应多种规格花篮的连接，为用于硅片清洗的花篮晃动装置的连接使用带来便利。
[0041]
在一个实施例中，两组内螺纹10与两组螺纹管24相互啮合，便于缩短两组形变弹簧钢带7之间的间隙。
[0042]
在一个实施例中，全角度晃动板6与环状安装板8的相向面均设置有第二环状t型滑槽26，两组第二环状t型滑槽26的相向端均设置有两组操作孔34，铁片抖液管9的两端分别位于两组第二环状t型滑槽26的内部，铁片抖液管9的两端侧壁分别设置有两组内置凸型槽27，且四组内置凸型槽27的内部端部均固定安装有复位弹簧28，并且四组复位弹簧28的一端均固定安装有抵触杆29，四组抵触杆29的一端均固定安装有抵触板30，四组抵触板30的一端分别与两组第二环状t型滑槽26的内部侧壁接触，通过设置的铁片抖液管9，拦截清
洁剂与用于硅片清洗的花篮晃动装置表面接触，且沾染的清洁剂无需手动清洁，为用于硅片清洗的花篮晃动装置的清洁使用带来便利。
[0043]
在一个实施例中，四组复位弹簧28均处于压缩状态，防止铁片抖液管9意外脱离两组第二环状t型滑槽26。
[0044]
在一个实施例中，两组第二环状t型滑槽26均位于同一垂直线上，避免因两组第二环状t型滑槽26错位，导致铁片抖液管9无法安装使用。
[0045]
在一个实施例中，环状安装板8的上部设置有四组安装孔11，四组安装孔11起到安装固定用于硅片清洗的花篮晃动装置的作用。
[0046]
工作原理：
[0047]
当用于硅片清洗的花篮晃动装置连接电路时，电机2开始工作，带动转动轴3、支撑杆5和套板31做同步运动，旋转的套板31使两组拉绳32发生形变，当套板31接触两组限位板33时，会扯动全角度晃动板6旋转，旋转的全角度晃动板6会使两组抵触头20发生碰撞，此时利用球窝12和球头13，会使全角度晃动板6纵向晃动，此时四组伸缩弹簧14会发生形变，四组伸缩弹簧14受自身弹力作用，带动全角度晃动板6进行复位，当两组抵触头20再次发生碰撞，使全角度晃动板6继续纵向旋转晃动，重复旋转使用时，全角度晃动板6始终带动花篮晃动，四组伸缩软管15防止四组伸缩弹簧14接触液体，环状t型滑板16与第一环状t型滑槽19不妨碍四组伸缩弹簧14跟随全角度晃动板6旋转，若干组内置球槽17和若干组滚球18，便于环状t型滑板16旋转使用，通过设置的全角度晃动板6，可配合使用一组电机2，完成花篮的全角度晃动，为用于硅片清洗的花篮晃动装置的晃动使用带来资源的浪费，同时，当需要安装花篮时，调节两组伸缩杆21，当两组固定板22移动到预期位置时，将花篮放置两组形变弹簧钢带7之间，再利用两组内螺纹10与两组螺纹管24相互啮合，顺时针旋转两组螺纹管24，当两组紧固管25的相向端分别与两组固定板22的远离端紧密接触，两组形变弹簧钢带7的侧壁会与花篮的外部侧壁紧密接触，两组锯齿23增大两组形变弹簧钢带7与花篮之间的摩擦力，通过设置的形变弹簧钢带7，使同种连接结构可适应多种规格花篮的连接，为用于硅片清洗的花篮晃动装置的连接使用带来便利，同时，当需要安装铁片抖液管9时，相向移动四组抵触板30，四组伸缩复位弹簧28处于压缩状态，当四组抵触板30分别位于四组内置凸型槽27的内部时，将铁片抖液管9的两端分别插入两组第二环状t型滑槽26的内部，当插入完毕时，四组伸缩复位弹簧28受自身弹力作用，抵住四组抵触杆29移动，当四组抵触板30与两组第二环状t型滑槽26的内部侧壁紧密接触时，停止运动，铁片抖液管9会跟随全角度晃动板6旋转晃动，其表面沾染的清洁剂，会被震动脱离，当需要卸下铁片抖液管9时，利用四组操作孔34，再次将四组抵触板30塞入四组内置凸型槽27的内部，可抽出铁片抖液管9，通过设置的铁片抖液管9，拦截清洁剂与用于硅片清洗的花篮晃动装置表面接触，且沾染的清洁剂无需手动清洁，为用于硅片清洗的花篮晃动装置的清洁使用带来便利。
[0048]
在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、“连接”、“固定”、“旋接”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
[0049]
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精
神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
技术特征：
1.一种用于硅片清洗的花篮晃动装置，其特征在于，包括外壳(1)，所述外壳(1)的内部底面固定安装有电机(2)，且电机(2)的输出端卡接安装有转动轴(3)，所述外壳(1)的开口处固定安装有密封板(4)，所述转动轴(3)的一端贯穿密封板(4)，所述密封板(4)的上方安装有全角度晃动板(6)，且全角度晃动板(6)的上方安装有两组形变弹簧钢带(7)，所述外壳(1)的下端侧壁固定套接安装有环状安装板(8)，所述全角度晃动板(6)与环状安装板(8)之间安装有铁片抖液管(9)。2.根据权利要求1所述的一种用于硅片清洗的花篮晃动装置，其特征在于，所述全角度晃动板(6)的下部设置有球窝(12)和四组伸缩弹簧(14)，所述球窝(12)的内部滚动安装有球头(13)，且球头(13)的侧壁固定安装有支撑杆(5)，并且支撑杆(5)的一端与转动轴(3)的一端固定连接，四组所述伸缩弹簧(14)的外部侧壁均套接安装有伸缩软管(15)，四组所述伸缩弹簧(14)和四组所述伸缩软管(15)的一端安装有环状t型滑板(16)，且环状t型滑板(16)的下部设置有若干组内置球槽(17)，并且若干组所述内置球槽(17)的内部均滚动安装有滚球(18)，所述密封板(4)的上部设置有第一环状t型滑槽(19)，所述环状t型滑板(16)位于第一环状t型滑槽(19)的内部，所述密封板(4)与全角度晃动板(6)的相向面均固定安装有抵触头(20)，所述支撑杆(5)的侧壁固定套接安装有套板(31)，且套板(31)的上部贯穿安装有两组拉绳(32)，并且两组所述拉绳(32)的一端与全角度晃动板(6)的下部固定连接，两组所述拉绳(32)的另一端均固定安装有限位板(33)。3.根据权利要求2所述的一种用于硅片清洗的花篮晃动装置，其特征在于，所述球窝(12)开口处的横截面尺寸小于球头(13)的最大横截面尺寸。4.根据权利要求2所述的一种用于硅片清洗的花篮晃动装置，其特征在于，四组所述伸缩弹簧(14)的最大横截面长度小于四组所述伸缩软管(15)的最小横截面长度。5.根据权利要求1所述的一种用于硅片清洗的花篮晃动装置，其特征在于，所述全角度晃动板(6)的侧壁固定安装有两组伸缩杆(21)，且两组所述伸缩杆(21)的一端均固定安装有固定板(22)，两组所述形变弹簧钢带(7)的两端分别贯穿两组所述固定板(22)，两组所述形变弹簧钢带(7)的两端均固定套接安装有螺纹管(24)，且两组所述螺纹管(24)的外部侧壁均套接安装有紧固管(25)，并且两组所述紧固管(25)的相向端分别与两组所述固定板(22)的远离端紧密接触，两组所述紧固管(25)的内部侧壁设置有内螺纹(10)，两组所述形变弹簧钢带(7)的相向端均设置有锯齿(23)。6.根据权利要求5所述的一种用于硅片清洗的花篮晃动装置，其特征在于，两组所述内螺纹(10)与两组所述螺纹管(24)相互啮合。7.根据权利要求1所述的一种用于硅片清洗的花篮晃动装置，其特征在于，所述全角度晃动板(6)与环状安装板(8)的相向面均设置有第二环状t型滑槽(26)，两组所述第二环状t型滑槽(26)的相向端均设置有两组操作孔(34)，所述铁片抖液管(9)的两端分别位于两组所述第二环状t型滑槽(26)的内部，所述铁片抖液管(9)的两端侧壁分别设置有两组内置凸型槽(27)，且四组所述内置凸型槽(27)的内部端部均固定安装有复位弹簧(28)，并且四组所述复位弹簧(28)的一端均固定安装有抵触杆(29)，四组所述抵触杆(29)的一端均固定安装有抵触板(30)，四组所述抵触板(30)的一端分别与两组所述第二环状t型滑槽(26)的内部侧壁接触。8.根据权利要求7所述的一种用于硅片清洗的花篮晃动装置，其特征在于，四组所述复
位弹簧(28)均处于压缩状态。9.根据权利要求7所述的一种用于硅片清洗的花篮晃动装置，其特征在于，两组所述第二环状t型滑槽(26)均位于同一垂直线上。10.根据权利要求1所述的一种用于硅片清洗的花篮晃动装置，其特征在于，所述环状安装板(8)的上部设置有四组安装孔(11)。
技术总结
本发明公开了一种用于硅片清洗的花篮晃动装置，包括外壳，所述外壳的内部底面固定安装有电机，且电机的输出端卡接安装有转动轴。有益效果：本发明通过全角度晃动板，当电机开始工作时，带动转动轴、支撑杆和套板做同步运动，旋转的套板使两组拉绳发生形变，当套板接触两组限位板时，会扯动全角度晃动板旋转，旋转的全角度晃动板会使两组抵触头发生碰撞，全角度晃动板纵向晃动，此时四组伸缩弹簧会发生形变，四组伸缩弹簧带动全角度晃动板进行复位，当两组抵触头再次发生碰撞，使全角度晃动板继续纵向旋转晃动，重复旋转使用时，全角度晃动板始终带动花篮晃动，通过设置的全角度晃动板，可配合使用一组电机，完成花篮的全角度晃动。晃动。晃动。
技术开发人、权利持有人：许玉雷
