高新硅片自动除尘装置技术

高新硅片自动除尘装置技术

1.本发明涉及硅片除尘技术领域,尤其涉及一种硅片自动除尘装置。

背景技术:

2.硅片是一种半导体材料,硅片可以用来制作集成电路的重要材料,硅片也是光伏电池的重要材料。通过对硅片进行光刻、离子注入等工艺处理,可以制成各种半导体器件。硅片在各种加工处理过程中,受设备自身影响以及周围空间环境影响,硅片表面容易沾上一些粉尘,硅片在后续加工使用过程中,需要保持硅片表面清洁,例如硅片在制作集成电路时必须要将表面粉尘清理后才能使用,光伏电池片制作时需要在硅片表面制备反射膜,如果硅片表面存在粉尘会导致反射膜不均匀或表面不平整,粉尘处反射膜易脱离。目前硅片除尘通常都是在无尘车间内,人工用气枪吹风除尘,或者人工采用吸尘棍吸尘,这种除尘效率低,而且硅片表面的粉尘也难以清除干净。

技术实现要素:

3.本发明为了解决现有技术中的硅片除尘效率低、除尘不干净的问题,提供了一种除尘效率高、除尘效果好的硅片自动除尘装置。
4.为了实现上述目的,本发明采用如下技术方案:一种硅片自动除尘装置,包括工作台,工作台的顶面设有硅片定位区,所述工作台的上侧设有基板,工作台的两侧均设有滑轨,所述基板的下端两侧均固定有与滑轨滑动连接的侧板,所述侧板与工作台之间设有驱动机构;所述基板的底面固定有吹气组件,吹气组件上连接有吹气管,所述侧板的内侧面前后两端均固定有吸气组件,所述吸气组件上连接吸气管。硅片放置在硅片定位区定位,基板在驱动机构的作用下沿着滑轨水平移动,吹气组件位于硅片的正上方,吸气组件位于硅片的两侧,基板在移动的过程中,吹气组件向硅片吹气,同时吸气组件吸气,从而将硅片表面的粉尘吹起并通过吸气组件吸走,实现硅片表面的快速自动除尘,除尘效率高、除尘效果好,吹起的粉尘被吸走,从而避免二次污染。
5.作为优选,所述侧板的外侧面均设有过滤器,所述吹气管与一个过滤器连接,所述的吸气管与另一个过滤器连接。吹气管中的气流经过过滤器过滤后再进入吹起组件,从而确保吹气组件吹出的气流更加洁净。
6.作为优选,所述的驱动机构包括驱动电机、齿轮、齿条,所述齿条固定在工作台的侧面且与滑轨平行分布,所述驱动电机固定在侧板上,齿轮固定在驱动电机的轴端,所述的齿轮与齿条啮合;所述齿条的两端均设有限位块。通过驱动电机带动齿轮转动,齿轮沿着齿条移动来实现基板的移动,整体结构紧凑、稳定。
7.作为优选,所述基板的下侧前后两端均设有除尘辊,所述除尘辊的外侧设有硅胶套,所述除尘辊两端的连接轴通过连接组件与基板连接。硅胶套与硅片的表面贴合,基板移动时,硅胶套在硅片表面滚动,从而使得硅片表面一些难以被气流吹走的粉尘粘在硅胶套表面而被带走,进一步增加除尘效果。
8.作为优选,所述硅胶套的圆周面上延伸形成若干粘尘片。粘尘片与硅片的接触面积更加,能够更好的将硅片表面的粉尘粘掉。
9.作为优选,所述连接组件包括连接杆、滑动座,所述滑动座与连接杆的下端固定,所述滑动座内设有滑槽,所述滑槽内设有滑块,所述连接轴与滑块转动连接,所述滑槽内位于滑块的上端处设有压簧。在压簧、滑块的作用下,硅胶套始终与硅片保持弹性接触,既能确保硅胶套、粘尘片与硅片稳定接触,又能防止压力过大而损坏硅片。
10.作为优选,所述基板的上侧设有连接板,所述连接杆的上端穿过基板与连接板固定连接,所述连接杆与基板滑动连接,所述连接板的上侧设有连接支架,连接支架的两端与基板固定连接,所述连接支架上固定有升降电机,升降电机的轴端设有穿过连接板的螺杆,所述螺杆与连接板之间螺纹连接。通过升降电机、螺杆可以控制连接板的升降,从而控制除尘辊的升降,以改变除尘辊与硅片之间的弹性压力。
11.作为优选,所述工作台上位于硅片定位区的内侧设有除尘辊清理区,所述除尘辊清理区上设有两个与除尘辊一一对应的长槽孔,所述除尘辊清理区的底部位于长槽孔的最下方设有除尘辊清理组件。当基板移动至除尘辊清理区位置时,升降电机通过螺杆带动除尘辊下降,除尘辊向下移动穿过长槽孔进入除尘辊清理组件内,除尘辊清理组件将硅胶套、粘尘片上的粉尘清理掉。
12.作为优选,所述的除尘辊清理组件包括水槽、喷水嘴、热气喷嘴,所述水槽固定在除尘辊清理区的底部,所述喷水嘴有两组,两组喷水嘴一一对应固定在水槽的前后两侧,喷水嘴的开口端朝向粘尘片;所述的热气喷嘴有两组,两组热气喷嘴通过固定支架固定在除尘辊清理区的底部,热气喷嘴的开口端朝向粘尘片。除尘辊进入除尘辊清理组件内,喷水嘴向硅胶套喷水冲洗,水流喷射在粘尘片上带动除尘辊转动,从而将硅胶套、粘尘片表面的粉尘冲洗掉;之后在通过热气喷嘴向硅胶套吹热气流,使得硅胶套快速干燥;之后升降电机带动除尘辊上升,基板移动至硅片上方继续除尘。
13.作为优选,所述工作台上的硅片定位区有两个,两个硅片定位区分布在工作台的两端,所述的除尘辊清理区位于两个硅片定位区之间。工作台两端防止两片硅片,两片硅片交替除尘,每片硅片除尘后,除尘辊经过除尘辊清理区时,都会进入除尘辊清理组件内清理一次,从而确保除尘辊良好的粘尘效果。
14.因此,本发明具有除尘效率高、除尘效果好、除尘辊自动清洗可持续使用的有益效果。
附图说明
15.图1为本发明的一种结构示意图。
16.图2为图1的正视图。
17.图3 为图1的右视图。
18.图4为基板、吹起组件、吸气组件的连接示意图。
19.图5为图4的仰视图。
20.图6为除尘辊的结构示意图。
21.图7为连接组件的爆炸图。
22.图8为除尘辊进入除尘辊清理组件内的状态示意图。
23.图中:工作台1、硅片定位区2、除尘辊清理区3、长槽孔300、基板4、侧板40、滑轨5、驱动机构6、驱动电机60、齿轮61、齿条62、限位块63、吹气组件7、吹气管8、吸气组件9、吸气管10、过滤器11、除尘辊12、硅胶套13、粘尘片130、连接轴14、连接组件15、连接杆150、滑动座151、滑槽152、滑块153、压簧154、连接板16、连接支架17、升降电机18、螺杆19、除尘辊清理组件20、水槽200、喷水嘴201、热气喷嘴202。
具体实施方式
24.下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步描述:如图1、图2、图3、图4和图5所示的一种硅片自动除尘装置,包括工作台1,工作台1的顶面设有硅片定位区2,工作台上的硅片定位区有两个,两个硅片定位区2分布在工作台的两端,两个硅片定位区2之间的部位设有除尘辊清理区3;工作台1的上侧设有基板4,工作台1的两侧均设有滑轨5,基板4的下端两侧均固定有与滑轨滑动连接的侧板40,侧板40与工作台之间设有驱动机构6;驱动机构6包括驱动电机60、齿轮61、齿条62,齿条62固定在工作台1的侧面且与滑轨5平行分布,驱动电机60通过电机座固定在侧板40上,齿轮固定在驱动电机的轴端,齿轮与齿条啮合,齿条62的两端均设有限位块63。
25.基板4的底面固定有吹气组件7,吹气组件上连接有吹气管8,吹气管与外部供气系统连接,侧板40的内侧面前后两端均固定有吸气组件9,吸气组件上连接吸气管10,四个吸气组件与同一根吸气管连接,侧板40的外侧面均设有过滤器11,吹气管与一个过滤器连接,吸气管与另一个过滤器连接。
26.如图3、图4、图6和图7所示,基板4的下侧前后两端均设有除尘辊12,除尘辊的外侧设有硅胶套13,除尘辊两端的连接轴14通过连接组件15与基板连接,硅胶套13的圆周面上延伸形成若干粘尘片130;连接组件15包括连接杆150、滑动座151,滑动座151与连接杆的下端固定,滑动座内设有滑槽152,滑槽内设有滑块153,连接轴14与滑块153转动连接,滑槽内位于滑块的上端处设有压簧154。
27.基板1的上侧设有连接板16,连接杆150的上端穿过基板与连接板固定连接,连接杆150与基板滑动连接,连接板16的上侧设有连接支架17,连接支架的两端与基板固定连接,连接支架17上固定有升降电机18,升降电机的轴端设有穿过连接板的螺杆19,螺杆与连接板之间螺纹连接。
28.如图1和图8所示,除尘辊清理区3上设有两个与除尘辊一一对应的长槽孔300,除尘辊清理区3的底部位于长槽孔的最下方设有除尘辊清理组件20;除尘辊清理组件20包括水槽200、喷水嘴201、热气喷嘴202,水槽固定在除尘辊清理区3的底部,喷水嘴有两组,两组喷水嘴一一对应固定在水槽的前后两侧,喷水嘴的开口端朝向粘尘片;热气喷嘴有两组,两组热气喷嘴202通过固定支架203固定在除尘辊清理区的底部,热气喷嘴的开口端朝向粘尘片。
29.结合附图,本发明的原理如下:如图1所示,两片硅片分别定位在工作台两端的硅片定位区2内,基板初始位置处于除尘辊清理区3,基板在驱动机构的作用下向右移动,移动过程中吹气组件吹气、吸气组件吸气,除尘辊与弹性压在硅片表面沿着硅片表面移动,吹气组件将硅片表面的粉尘吹起后通过吸气组件吸走,除尘辊上的吸尘片与硅片表面接触将一些难以被吹走的粉尘粘走,基板向右移动至极限位置后再向左移动至极限位置,之后移动
至除尘辊清理区,此时两片硅片的正面都经过一次除尘处理;升降电机带动连接板下降,使得除尘辊下降穿过长槽孔后进入除尘辊清理组件20内,然后依次通过喷水嘴201、热气喷嘴202对除尘辊进行清洗、干燥,升降电机带动升降板上升复位,除尘辊在清理的时候,通过机械手或人工对两片硅片进行反面;之后基板重复一次上述动作,实现两片硅片的反面除尘;再次对除尘辊进行清理的时候,通过机械手或人工更换硅片,从而实现硅片的高效除尘,可以根据实际需要,增加工作台上的硅片定位区的面积,以定位更多的硅片,从而实现多个硅片的同步除尘。而且本结构中将吹气、吸气除尘与除尘辊粘尘相结合,除尘效果更好,除尘辊在工作台上往复粘尘一次后都会进行清理,清理等待时间正好用于硅片的反面或上下料,设备整体使用效率很高。
30.以上仅为本发明的具体实施例,但本发明的技术特征并不局限于此。任何以本发明为基础,为解决基本相同的技术问题,实现基本相同的技术效果,所作出的简单变化、等同替换或者修饰等,皆涵盖于本发明的保护范围之中。

技术特征:
1.一种硅片自动除尘装置,包括工作台,工作台的顶面设有硅片定位区,其特征是,所述工作台的上侧设有基板,工作台的两侧均设有滑轨,所述基板的下端两侧均固定有与滑轨滑动连接的侧板,所述侧板与工作台之间设有驱动机构;所述基板的底面固定有吹气组件,吹气组件上连接有吹气管,所述侧板的内侧面前后两端均固定有吸气组件,所述吸气组件上连接吸气管。2.根据权利要求1所述的一种硅片自动除尘装置,其特征是,所述侧板的外侧面均设有过滤器,所述吹气管与一个过滤器连接,所述的吸气管与另一个过滤器连接。3.根据权利要求1所述的一种硅片自动除尘装置,其特征是,所述的驱动机构包括驱动电机、齿轮、齿条,所述齿条固定在工作台的侧面且与滑轨平行分布,所述驱动电机固定在侧板上,齿轮固定在驱动电机的轴端,所述的齿轮与齿条啮合;所述齿条的两端均设有限位块。4.根据权利要求1所述的一种硅片自动除尘装置,其特征是,所述基板的下侧前后两端均设有除尘辊,所述除尘辊的外侧设有硅胶套,所述除尘辊两端的连接轴通过连接组件与基板连接。5.根据权利要求4所述的一种硅片自动除尘装置,其特征是,所述硅胶套的圆周面上延伸形成若干粘尘片。6.根据权利要求4或5所述的一种硅片自动除尘装置,其特征是,所述连接组件包括连接杆、滑动座,所述滑动座与连接杆的下端固定,所述滑动座内设有滑槽,所述滑槽内设有滑块,所述连接轴与滑块转动连接,所述滑槽内位于滑块的上端处设有压簧。7.根据权利要求6所述的一种硅片自动除尘装置,其特征是,所述基板的上侧设有连接板,所述连接杆的上端穿过基板与连接板固定连接,所述连接杆与基板滑动连接,所述连接板的上侧设有连接支架,连接支架的两端与基板固定连接,所述连接支架上固定有升降电机,升降电机的轴端设有穿过连接板的螺杆,所述螺杆与连接板之间螺纹连接。8.根据权利要求7所述的一种硅片自动除尘装置,其特征是,所述工作台上位于硅片定位区的内侧设有除尘辊清理区,所述除尘辊清理区上设有两个与除尘辊一一对应的长槽孔,所述除尘辊清理区的底部位于长槽孔的最下方设有除尘辊清理组件。9.根据权利要求8所述的一种硅片自动除尘装置,其特征是,所述的除尘辊清理组件包括水槽、喷水嘴、热气喷嘴,所述水槽固定在除尘辊清理区的底部,所述喷水嘴有两组,两组喷水嘴一一对应固定在水槽的前后两侧,喷水嘴的开口端朝向粘尘片;所述的热气喷嘴有两组,两组热气喷嘴通过固定支架固定在除尘辊清理区的底部,热气喷嘴的开口端朝向粘尘片。10.根据权利要求7所述的一种硅片自动除尘装置,其特征是,所述工作台上的硅片定位区有两个,两个硅片定位区分布在工作台的两端,所述的除尘辊清理区位于两个硅片定位区之间。
技术总结
本发明涉及硅片除尘技术领域,公开了一种硅片自动除尘装置,包括工作台,工作台的顶面设有硅片定位区,所述工作台的上侧设有基板,工作台的两侧均设有滑轨,所述基板的下端两侧均固定有与滑轨滑动连接的侧板,所述侧板与工作台之间设有驱动机构;所述基板的底面固定有吹气组件,吹气组件上连接有吹气管,所述侧板的内侧面前后两端均固定有吸气组件,所述吸气组件上连接吸气管。本发明具有除尘效率高、除尘效果好的有益效果。尘效果好的有益效果。尘效果好的有益效果。

技术开发人、权利持有人:王宝根 夏媛

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