专利名称：高新超纯水回收系统技术
技术领域：
本高新技术涉及一种超纯水回收系统。
背景技术：
半导体、光电和太阳能等高科技行业的零组件要求高洗净质量，因此，在洗净过程中大量的使用超纯水进行清洗是必需。一般情况下使用过后的超纯水，水质都会变得比较差，这是因为水中杂质因洗净而增加，导致水得电导率都会偏高，这样的超纯水都无法再利用进行清洗，通常多是直接排放掉，造成水资源的大量浪费。
发明内容本高新技术的目的在于克服现有技术的缺陷而提供一种超纯水回收系统，该回收系统能大大提高水的循环使用，增加回收水回收效果。本高新技术的目的是这样实现的本高新技术的一种超纯水回收系统，包括第一手动阀、第二手动阀、第一电控阀、 第二电控阀、三通管、回收水槽、加药桶、高压泵、供水动力装置、过滤器、水质检测装置、清水槽和相应的连接管件；所述回收水槽的第一进水口外接车间用水的出水口，所述加药桶的出口与所述高压泵进口相连，该高压泵的出口与所述回收水槽的第二进水口相连，该回收水槽的出水口与所述供水动力装置的进口相连，所述供水动力装置的出口与所述过滤器进水口相连，且其之间设有第一手动阀，所述过滤器出水口依次通过第二手动阀、三通管、第一电控阀与所述清水槽的入水口相连，所述三通管的出口经第二电控阀外接排水系统，所述第二手动阀和三通管之间设有用于控制所述第一电控阀和第二电控阀的水质检测装置，所述清水槽的出水口外接超纯水供水系统的入口。上述的一种超纯水回收系统，其中，所述供水动力装置为并列设置的若干个水泵。本高新技术与现有技术相比，具有以下优点1.能够有效的去除水中的大量污染物，快速降低水中的电导率、有效提高水的纯度；2.同时充分减轻了当前水资源紧缺的状况，也相应的减少了废水的处理及对环境的影响，又因其推广的主要对象是半导体和太阳能高科技领域，因此其市场前景广阔；3.可大幅降低水资源成本，包含一般用水成本、超纯水制造成本等。
图1是本高新技术的结构示意图。
具体实施方式
[0014]下面将结合附图对本高新技术作进一步说明。请参阅图1，图中示出了本高新技术超纯水回收系统的结构示意图，该超纯水回收系统包括第一手动阀5、第二手动阀7、第一电控阀10、第二电控阀11、三通管9、回收水槽 1、加药桶3、高压泵2、供水动力装置4、过滤器6、水质检测装置8、清水槽12和相应的连接管件；回收水槽1的第一进水口外接车间用水的出水口，加药桶3的出口与高压泵2进口相连，高压泵2的出口与回收水槽1的第二进水口相连，回收水槽1的出水口与供水动力装置4的进口相连，供水动力装置4的出口与过滤器6进水口相连，且供水动力装置4和过滤器6之间设有第一手动阀5，过滤器6出水口依次通过第二手动阀7、三通管9、第一电控阀10与清水槽12的入水口相连，三通管9的出口经第二电控阀11外接排水系统，第二手动阀7和三通管9之间设有用于控制第一电控阀10和第二电控阀11的水质检测装置8，即水质检测装置8分别与第一电控阀10和第二电控阀11信号连接，清水槽12的出水口外接超纯水供水系统的入口。上述超纯水回收系统中，供水动力装置4为并列设置的两个水泵41。将使用过后的车间用水，经过管道收集集中储存于回收水槽1中，进行回收，水槽的大小依回收水量的吨位而设。回收水槽1中的水经过供水动力装置4送入过滤器6，过滤器内设有特定的吸附过滤设备，同时还在回收水槽1内的水中加入一定的药液，能够有效的去除水中的物质，而使水质提高(降低水的电导率，提高水的纯度)，同时利用水质检测装置实时检测回收水水质，确保回收水水质优良(不良水质则进入排放系统)。经过水质处理完成的回收水，将在重回进入超纯水供水系统中，作为超纯水精炼制造的原水使用；同时大量提高了水的循环使用，增加回收水回收效果。以上实施例仅供说明本高新技术之用，而非对本高新技术的限制，有关技术领域的技术人员，在不脱离本高新技术的精神和范围的情况下，还可以作出各种变换或变型，因此所有等同的技术方案也应该属于本高新技术的范畴，应由各权利要求所限定。
权利要求1.一种超纯水回收系统，其特征在于，所述超纯水回收系统包括第一手动阀、第二手动阀、第一电控阀、第二电控阀、三通管、回收水槽、加药桶、高压泵、供水动力装置、过滤器、水质检测装置、清水槽和相应的连接管件；所述回收水槽的第一进水口外接车间用水的出水口，所述加药桶的出口与所述高压泵进口相连，该高压泵的出口与所述回收水槽的第二进水口相连，该回收水槽的出水口与所述供水动力装置的进口相连，所述供水动力装置的出口与所述过滤器进水口相连，且其之间设有第一手动阀，所述过滤器出水口依次通过第二手动阀、三通管、第一电控阀与所述清水槽的入水口相连，所述三通管的出口经第二电控阀外接排水系统，所述第二手动阀和三通管之间设有用于控制所述第一电控阀和第二电控阀的水质检测装置，所述清水槽的出水口外接超纯水供水系统的入口。
2.如权利要求1所述的一种超纯水回收系统，其特征在于，所述供水动力装置为并列设置的若干个水泵。
专利摘要本高新技术涉及一种超纯水回收系统，回收水槽的第一进水口外接车间用水的出水口，加药桶通过高压泵与回收水槽的第二进水口相连，该回收水槽的出水口依次通过供水动力装置第一手动阀、过滤器、第二手动阀、三通管、第一电控阀与清水槽的入水口相连，三通管的出口经第二电控阀外接排水系统，第二手动阀和三通管之间设有用于控制所述第一电控阀和第二电控阀的水质检测装置，所述清水槽的出水口外接超纯水供水系统。本高新技术能够有效的去除水中的大量污染物，快速降低水中的电导率、有效提高水的纯度，大大提高水的循环使用，增加回收水回收效果。
文档编号C02F9/04GK202322525SQ201120426869
公开日2012年7月11日 申请日期2011年11月1日 优先权日2011年11月1日
发明者徐国栋 申请人:上海科秉电子科技有限公司, 科治新技股份有限公司
