[0001]
本高新技术涉及一种供气设备，尤其涉及一种等离子气配箱。
背景技术：
[0002]
面板行业中，由于产品表面精度高，需用等离子清洗机进行清洁面板表面上的有机物、金属氧化物等，改善面板表面的粘附力以及表面液体扩散效果，利于进行后端工艺。等离子清洗机时，用到的氮气与空气由气配箱控制其流量并混合输入到等离子清洗机中。
[0003]
因为，为了满足等离子清洗机的清洗需求，需要研发一种等离子气配箱。
技术实现要素：
[0004]
为解决现有技术中的问题，本高新技术提供一种等离子气配箱。
[0005]
本高新技术包括壳体，设置在壳体上的2个以上的气体接口，设置在所述壳体内的用于混合并存储气体的容器，所述容器上设有一个排气口，每个气体接口与容器之间均设有气体流通通道，每个气体流通通道上均设有电磁阀及压力表。
[0006]
本高新技术作进一步改进，所述气体接口处设有用于过滤气体的气体过滤器，所述气体过滤器的出气口与气体流通通道的气体入口相连。
[0007]
本高新技术作进一步改进，还包括设置在气体流通通道上的流量表，所述流量表设置在所述电磁阀和容器之间。
[0008]
本高新技术作进一步改进，还包括设置在壳体上的电源接口及电源开关。
[0009]
本高新技术作进一步改进，还包括设置在所述壳体内部的控制器及设置在所述壳体上的通讯接口，所述控制器分别与所述通讯接口、电磁阀、压力表相连。
[0010]
本高新技术作进一步改进，所述气体接口的数量为2个，分别为输入空气的空气接口及输入氮气的氮气接口。
[0011]
本高新技术作进一步改进，所述容器上设有转接头，所述转接头上设有用于输入氮气的第一接头，及用于输入空气的第二接头，及用于输出气体的第三接头，所述容器通过第三接头与第一接头和第二接头连通。
[0012]
与现有技术相比，本高新技术的有益效果是：可有效地提供等离子清洗机需要的混合气体，并且准确的调整气体比例，进而让等离子清洗机有稳定的清洗效果。
附图说明
[0013]
图1为本高新技术结构示意图；
[0014]
图2为本高新技术内部结构示意图；
[0015]
图3为本实用信息正面结构示意图；
[0016]
图4为本实用信息背面结构示意图。
具体实施方式
[0017]
下面结合附图和实施例对本高新技术做进一步详细说明。
[0018]
如图1所示，本高新技术包括壳体102，所述壳体102包括设置在正面的前面板101及设置在所述壳体102背面的后面板100。其中壳体102左右两侧设有通风孔，保证内部气体流动，进而起到内部恒温状态，避免发生高温起火，工作人员触碰受伤的可能性。
[0019]
如图2-4所示，本例在所述后面板100上设有第一气体过滤器201和第二气体过滤器202，用于连接外部的源气体，由于源气体中含有水份以及油份，会对等离子清洗机的清洁效果有影响，并对各个配件有损坏的危险，所以源气体必须要进行过滤。本例的源气体包括氮气以及空气，因此，设置两个气体接口及两个气体过滤器，如果气体种类的数量为多个时，则可以设置为多个气体接口及气体过滤器。
[0020]
本例的壳体102内还设有用于混合并存储气体的容器207，所述容器207上设有一个排气口，用于向等离子清洗机提供混合气体。第一气体过滤器201和第二气体过滤器202的出气与容器207之间分别设有气体流通通道。
[0021]
本例在所述壳体102内还设有第一电磁阀205和第二电磁阀206，在所述前面板101上还设有第一压力表304和第二压力表303，第一流量表302及第二流量表301，经过第一气体过滤器201的空气分成两路，分别经过气体流通通道连接到第一电磁阀205和第一压力表304，实时显示空气的气压。通过第一电磁阀205的空气再连接到第一流量表302，第一流量表可以实时显示空气的流量，并可以调节流量大小；最后通过第一流量表302后连接到转接头的第二接头204上。
[0022]
经过第二气体过滤器202的氮气分成两路，分别经过气体流通通道连接到第二电磁阀206和第二压力表303，实时显示氮气的气压。通过第二电磁阀206的空气再连接到第二流量表301，第二流量表可以实时显示氮气的流量，并可以调节流量大小；最后通过第二流量表301后分别连接到转接头的第一接头203上。
[0023]
进入转接头的两路气体再经过转接头上用于输出气体的第三接头，进入容器207混合。并从排气口404排出，进入到等离子清洗机中。
[0024]
本例还包括设置在壳体102上的电源接口405及电源开关305，控制整个气配箱的电源。本例还包括设置在所述壳体102内部的控制器及设置在所述后面板100上的通讯接口403，所述控制器分别与通讯接口403、各个电磁阀、各个压力表相连，并通过通讯接口403与其他设备通讯，并可从其他设备控制此气配箱。当然，本例也可以通过外部的控制器控制本高新技术各个部件工作。
[0025]
本高新技术可有效地提供等离子清洗机需要的混合气体，并且准确的调整气体比例，进而让等离子清洗机有稳定的清洗效果。
[0026]
以上所述之具体实施方式为本高新技术的较佳实施方式，并非以此限定本高新技术的具体实施范围，本高新技术的范围包括并不限于本具体实施方式，凡依照本高新技术所作的等效变化均在本高新技术的保护范围内。
技术特征：
1.一种等离子气配箱，其特征在于：包括壳体，设置在壳体上的2个以上的气体接口，设置在所述壳体内的用于混合并存储气体的容器，所述容器上设有一个排气口，每个气体接口与容器之间均设有气体流通通道，每个气体流通通道上均设有电磁阀及压力表。2.根据权利要求1所述的等离子气配箱，其特征在于：所述气体接口处设有用于过滤气体的气体过滤器，所述气体过滤器的出气口与气体流通通道的气体入口相连。3.根据权利要求2所述的等离子气配箱，其特征在于：还包括设置在气体流通通道上的流量表，所述流量表设置在所述电磁阀和容器之间。4.根据权利要求1-3任一项所述的等离子气配箱，其特征在于：还包括设置在壳体上的电源接口及电源开关。5.根据权利要求4所述的等离子气配箱，其特征在于：还包括设置在所述壳体内部的控制器及设置在所述壳体上的通讯接口，所述控制器分别与所述通讯接口、电磁阀、压力表相连。6.根据权利要求1-3任一项所述的等离子气配箱，其特征在于：所述气体接口的数量为2个，分别为输入空气的空气接口及输入氮气的氮气接口。7.根据权利要求6所述的等离子气配箱，其特征在于：所述容器上设有转接头，所述转接头上设有用于输入氮气的第一接头，及用于输入空气的第二接头，及用于输出气体的第三接头，所述容器通过第三接头与第一接头和第二接头连通。
技术总结
本高新技术提供一种等离子气配箱，属于供气设备领域。本高新技术包括壳体，设置在壳体上的2个以上的气体接口，设置在所述壳体内的用于混合并存储气体的容器，所述容器上设有一个排气口，每个气体接口与容器之间均设有气体流通通道，每个气体流通通道上均设有电磁阀及压力表。本高新技术的有益效果为：可有效地提供氮气以及空气的混合气体，并且准确的调整气体比例，进而让等离子清洗机有稳定的清洗效果。果。果。
技术开发人、权利持有人：李承勇 申哲 李龙飞 金星 郑国锋
