[0001]
本高新技术涉及半导体研磨水处理技术领域，尤其涉及一种新型半导体研磨废水回收装置。
背景技术：
[0002]
根据目前市场半导体行业的竞争激烈，行业内需要节省企业运行成本，行业废水排放标准的提高，环境问题日益突出，急需更经济及高效的先进的处理装置。
[0003]
传统研磨废水处理装置投资成本高，占地空间大，操作消耗大量人工，操作不易自动化，维修成本高，处理废水的过程中产生二次污染，为此生产出本高新技术。
技术实现要素：
[0004]
本高新技术的目的在于提供一种新型半导体研磨废水回收装置，以此解决上述各种问题。
[0005]
本高新技术为解决上述各种问题是采取如下技术方式来实现的：
[0006]
一种新型半导体研磨废水回收装置主要包括：半导体研磨废水经过小型过滤器注入混合水箱，混合水箱上方布置搅拌器，水泵进水口与混合水箱连接，水泵出口与净化设备连接，然后净化设备出水端与手动球阀连接，达标回收到用水点。
[0007]
具体描述的，所述半导体研磨废水经过小型过滤器注入混合水箱，截留了部分研磨废水中混杂的大颗粒物，避免给后续处理设备增加负担，混合水箱上方布置搅拌器，使得进水充分的混合均匀，更有利于后续的设备工作，水泵进水口与混合水箱连接。
[0008]
具体描述的，然后净化设备出水端与手动球阀连接，通过净化设备里面独特的结构及运行方式，可以达到很好的固液分离效果，达标回收到用水点。
[0009]
与传统半导体研磨废水处理装置相比，本高新技术优点如下：
[0010]
1有效节约建设面积：比传统导体研磨废水装置占地面积减少50％以上；
[0011]
2运行费用低：不需要大功率搅拌装置；
[0012]
3不堵塞：由压缩空气反洗，不易污堵；
[0013]
4产水水质好：重金属离子达标排放，产水浊度小于001，可直接进ro系统；
[0014]
5自动化程度高，无人值守，远程监控；
[0015]
6实现废水回收，节约用水，回收率高：回用水的回收率可达98％。
附图说明
[0016]
为了更清楚地说明本高新技术实施方式的技术方案，下面将对实施方式描述中所需要使用的附图作简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本高新技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。其中：
[0017]
图1是本高新技术具体实施方式提供的新型半导体研磨废水回收装置的立体图
一；
[0018]
图2是本高新技术具体实施方式提供的新型半导体研磨废水回收装置的立体图二；
[0019]
图3是本高新技术具体实施方式提供的新型半导体研磨废水回收装置的俯视图。
[0020]
图中：
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1-支撑架；2-控制箱；3-空压机；4-手动球阀；5-搅拌器；6-混合水箱；7-水泵；8-手动球阀；9a、9b、9c、9d-净化设备；10-止回阀；11-气体流量计；12-压力表；13、14、15、16、17-电动阀；18-电磁阀；19-浮子流量计；20-手动球阀；21-压力传感器；22-手动球阀；23-小型过滤器。
具体实施方式
[0022]
下面结合附图和实施方式对本高新技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施方式仅仅用于解释本高新技术，而非对本高新技术的限定。另外还需说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本高新技术相关的部分而非全部结构。
[0023]
在本高新技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，可以是机械连接，也可以是电连接，可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本高新技术中的具体含义。
[0024]
在本高新技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一特征和第二特征直接接触，也可以包括第一特征和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0025]
下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本高新技术的技术方案。
[0026]
如图1-图3所示，本实施方式提供一种新型半导体研磨废水回收装置，半导体研磨废水经过小型过滤器23注入混合水箱6，混合水箱6上方布置搅拌器5，水泵7的进水口与混合水箱6连接，水泵7的出水口与净化设备9a、9b、9c和9d的进水端连接，然后净化设备9a、9b、9c和9d的出水端与手动球阀20连接，达标回收到用水点。
[0027]
进一步地，半导体研磨废水经过小型过滤器23注入混合水箱6，中间有手动球阀4控制进出水，混合水箱6上方布置搅拌器5，搅拌器5起到均匀混合半导体研磨废水。
[0028]
进一步地，水泵7的进水口与混合水箱6连接，中间有手动球阀8方便控制进水流量。
[0029]
进一步地，水泵7的出水口分别与净化设备9a、9b、9c和9d连接，然后净化设备9a、9b、9c和9d的出水端与手动球阀20连接，达标回收到用水点，中间有进水电动阀13、14、15、16和17、压力表12和浮子流量计19。
[0030]
进一步地，新型半导体研磨废水回收装置还包括支撑架1，支撑架1为其他部件起支撑作用。
[0031]
进一步地，新型半导体研磨废水回收装置还包括控制箱2，控制箱2安装于支撑架1上，控制箱2控制半导体研磨废水的净化。
[0032]
进一步地，新型半导体研磨废水回收装置还包括空压机3，空压机3安装于支撑架1上，空压机3将半导体研磨废水注入混合水箱6内。
[0033]
进一步地，新型半导体研磨废水回收装置还包括压力传感器21，压力传感器21能够感知压力的变化。
[0034]
进一步地，新型半导体研磨废水回收装置还包括电磁阀18、止回阀10、气体流量计11，电磁阀18、止回阀10、气体流量计11设置在混合水箱6一侧。
[0035]
注意，上述仅为本高新技术的较佳实施方式及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本高新技术不限于这里所述的特定实施方式，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本高新技术的保护范围。因此，虽然通过以上实施方式对本高新技术进行了较为详细的说明，但是本高新技术不仅仅限于以上实施方式，在不脱离本高新技术构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施方式，而本高新技术的范围由所附的权利要求范围决定。
技术特征：
1.一种新型半导体研磨废水回收装置，其特征在于，半导体研磨废水经过小型过滤器(23)注入混合水箱(6)，所述混合水箱(6)上方布置搅拌器(5)，水泵(7)的进水口与所述混合水箱(6)连接，所述水泵(7)的出水口与净化设备(9a、9b、9c、9d)的进水端连接，然后所述净化设备(9a、9b、9c、9d)的出水端与手动球阀(20)连接，达标回收到用水点。2.根据权利要求1所述的新型半导体研磨废水回收装置，其特征在于，所述半导体研磨废水经过所述小型过滤器(23)注入所述混合水箱(6)，中间有手动球阀(4)控制进出水，所述混合水箱(6)上方布置所述搅拌器(5)，所述搅拌器(5)起到均匀混合半导体研磨废水。3.根据权利要求1所述的新型半导体研磨废水回收装置，其特征在于，所述水泵(7)的进水口与所述混合水箱(6)连接，中间有手动球阀(8)方便控制进水流量。4.根据权利要求1所述的新型半导体研磨废水回收装置，其特征在于，所述水泵(7)的出水口分别与所述净化设备(9a、9b、9c、9d)连接，然后所述净化设备(9a、9b9c、9d)的出水端与手动球阀(20)连接，达标回收到用水点，中间有进水电动阀(13、14、15、16、17)、压力表(12)和浮子流量计(19)。
技术总结
本高新技术涉及半导体研磨水处理技术领域，公开一种新型半导体研磨废水回收装置。半导体研磨废水经过小型过滤器注入混合水箱，混合水箱上方布置搅拌器，水泵进水口与混合水箱连接，水泵出口与净化设备连接，然后净化设备出水端与手动球阀连接，达标回收到用水点。本高新技术提供的新型半导体研磨废水回收装置是一种节省占地面积，无二次污染，产水水质优质，自动化程度高，产品质量均匀及稳定的设备。产品质量均匀及稳定的设备。产品质量均匀及稳定的设备。
技术开发人、权利持有人：刘洋 赵衍平 王硕 刘超 赵克宇
