高新集成电路硅片电镀用清洗槽技术

高新集成电路硅片电镀用清洗槽技术

1.本高新技术涉及集成电路硅片加工设备技术领域,具体为一种集成电路硅片电镀用清洗槽。

背景技术:

2.集成电路是一种微型电子器件或部件,据铜互连技术的要求,铜电镀设备不仅要制备出具有超填充性能的均匀铜膜,还要对电镀后的硅片进行清洗处理,而现有的用于集成电路硅片电镀设备直接置于清洗槽内清洗,不易取出的同时,也清洗不均匀,因此,亟需一种集成电路硅片电镀用清洗槽来解决上述问题。

技术实现要素:

3.本高新技术的目的在于提供一种集成电路硅片电镀用清洗槽,以解决上述背景技术中提出集成电路是一种微型电子器件或部件,据铜互连技术的要求,铜电镀设备不仅要制备出具有超填充性能的均匀铜膜,还要对电镀后的硅片进行清洗处理,而现有的用于集成电路硅片电镀设备直接置于清洗槽内,不易取出的同时,也清洗不均匀的问题。
4.为实现上述目的,本高新技术提供如下技术方案:一种集成电路硅片电镀用清洗槽,包括主箱体、控制按钮、清洗液箱、滤网和步进电机,所述控制按钮的输出端通过导线分别与清洗液箱和步进电机的输入端电连接,所述主箱体的正面设置有控制按钮,所述主箱体左侧的底部安装有步进电机,且步进电机的输出端安装有主旋转轴,所述主旋转轴的表面套设有第一锥形齿轮,所述主箱体右侧的内部底端由左至右分别设置有废液箱和清洗液箱,所述废液箱的表面通过滤网与主箱体内部相连通,所述清洗液箱的一侧设置有进液口,且进液口上方的主箱体表面开设有插槽,所述清洗液箱的内部安装有水泵,且水泵的输出端安装有导液管,所述废液箱和清洗液箱上方的主箱体内部通过轴承横向安装有丝杆,且丝杆的一端安装有承接轴,所述丝杆的另一端套设有丝母,且丝母的表面设置有喷头,所述丝杆上方的主箱体内部通过轴承安装有安装架,且安装架的一端贯穿插槽延伸至主箱体表面,所述安装架内部的中间位置处设置有内置框架,且内置框架的内部安装有夹具组件。
5.优选的,所述导液管远离水泵的一端贯穿插槽和丝母表面,且导液管与喷头相连通。
6.优选的,所述夹具组件包括有夹片、弹簧杆和承接杆,所述内置框架内部的两侧皆横向安装有承接杆,且承接杆的中间位置处插设有弹簧杆,所述弹簧杆的一侧皆设置有夹片。
7.优选的,所述进液口上方的插槽表面通过轴承铰接有管道放置架,且管道放置架的表面均匀缠绕有导液管。
8.优选的,所述第一锥形齿轮和第二锥形齿轮皆设置有两组,所述第一锥形齿轮的表面皆设置有齿牙,所述第二锥形齿轮表面设置有与第一锥形齿轮相配适的齿牙,所述第一锥形齿轮和第二锥形齿轮之间通过齿牙相互啮合。
9.优选的,所述承接轴设置有两组,两组所述承接轴的一端分别与第二锥形齿轮连接,其中一组所述承接轴的一端开设有固定孔,且固定孔的内部内嵌有安装架。
10.与现有技术相比,本高新技术的有益效果是:该集成电路硅片电镀用清洗槽,通过将安装架设置为可拆卸式的结构,可直接将安装架对准插入主箱体内,通过固定孔对其进行卡合即可,方便安装的同时也方便取出,同时通过弹簧杆的自身弹力作用下,可根据不同规格的集成电路硅片电镀进行调整其两组承接杆之间的间距,加强整个装置使用时的通用性,且通过步进电机输出端主旋转轴带动第一锥形齿轮竖向旋转,使得与第一锥形齿轮啮合的第二锥形齿轮进行横向旋转,从而使得承接轴带动安装架和丝杆进行同步旋转,使得丝杆表面套设有的丝母带动喷头随着螺纹进行横向移动,并对同时也旋转中的安装架内部,通过夹具组件固定有的集成电路硅片电镀进行喷洒清洗,使得集成电路硅片电镀清洗均匀,并且设计轻便、灵巧、安全、可靠,操作便捷,制作成本低,适用于大规模的生产化使用。
附图说明
11.图1为本高新技术的结构正视剖面示意图;
12.图2为本高新技术安装架的结构俯视剖面示意图;
13.图3为本高新技术夹具组件的结构俯视剖面示意图;
14.图4为本高新技术的结构正视示意图。
15.图中:1、主箱体;2、控制按钮;3、安装架;4、导液管;5、管道放置架;6、夹具组件;61、夹片;62、弹簧杆;63、承接杆;7、内置框架;8、清洗液箱;9、插槽;10、喷头;11、进液口;12、水泵;13、丝母;14、滤网;15、废液箱;16、步进电机;17、第一锥形齿轮;18、主旋转轴;19、第二锥形齿轮;20、承接轴;21、固定孔;22、丝杆。
具体实施方式
16.下面将结合本高新技术实施例中的附图,对本高新技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本高新技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本高新技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本高新技术保护的范围。
17.请参阅图1-4,本高新技术提供的一种实施例:
18.一种集成电路硅片电镀用清洗槽,包括主箱体1、控制按钮2、清洗液箱8、滤网14和步进电机16,控制按钮2的输出端通过导线分别与清洗液箱8和步进电机16的输入端电连接,主箱体1的正面设置有控制按钮2,主箱体1左侧的底部安装有步进电机16,且步进电机16的输出端安装有主旋转轴18,主旋转轴18的表面套设有第一锥形齿轮17,主箱体1右侧的内部底端由左至右分别设置有废液箱15和清洗液箱8,废液箱15的表面通过滤网14与主箱体1内部相连通,清洗液箱8的一侧设置有进液口11,且进液口11上方的主箱体1表面开设有插槽9,清洗液箱8的内部安装有水泵12,且水泵12的输出端安装有导液管4。
19.根据附图1所示,导液管4远离水泵12的一端贯穿插槽9和丝母13表面,且导液管4与喷头10相连通,进液口11上方的插槽9表面通过轴承铰接有管道放置架5,且管道放置架5的表面均匀缠绕有导液管4,通过管道放置架5的设计,以方便导液管4的固定操作,可有效
减少导液管4发生打结的情况。
20.废液箱15和清洗液箱8上方的主箱体1内部通过轴承横向安装有丝杆22,且丝杆22的一端安装有承接轴20,丝杆22的另一端套设有丝母13,且丝母13的表面设置有喷头10,丝杆22上方的主箱体1内部通过轴承安装有安装架3,且安装架3的一端贯穿插槽9延伸至主箱体1表面,根据附图1和附图4所示,第一锥形齿轮17和第二锥形齿轮19皆设置有两组,第一锥形齿轮17的表面皆设置有齿牙,第二锥形齿轮19表面设置有与第一锥形齿轮17相配适的齿牙,第一锥形齿轮17和第二锥形齿轮19之间通过齿牙相互啮合,承接轴20设置有两组,两组承接轴20的一端分别与第二锥形齿轮19连接,其中一组承接轴20的一端开设有固定孔21,且固定孔21的内部内嵌有安装架3,工作人员通过按压控制按钮2开启步进电机16以及清洗液箱8的工作,步进电机16的输出端通过主旋转轴18带动两组第一锥形齿轮17同步竖向旋转,由于第一锥形齿轮17和第二锥形齿轮19之间相互啮合作用,使得第二锥形齿轮19随着第一锥形齿轮17的竖向旋转而换向,并带动丝杆22和安装架3进行同步的横向旋转,从而使得丝母13随着丝杆22的旋转而同步往前移动,此时,水泵12的输出端将清洗液箱8内的清洗液通过导液管4输送至喷头10内,并进行均匀的喷洒,使得丝杆22表面套设有的丝母13带动喷头10随着螺纹进行横向移动,并对同时也旋转中的安装架3内部,通过弹簧杆62固定有的集成电路硅片电镀进行喷洒清洗,使得集成电路硅片电镀清洗均匀。
21.安装架3内部的中间位置处设置有内置框架7,且内置框架7的内部安装有夹具组件6,根据附图1,附图2和附图3所示,夹具组件6包括有夹片61、弹簧杆62和承接杆63,内置框架7内部的两侧皆横向安装有承接杆63,且承接杆63的中间位置处插设有弹簧杆62,弹簧杆62的一侧皆设置有夹片61,通过弹簧杆62的自身弹力作用下,将准备清洗的集成电路硅片电镀设备放置在两组夹片61之间,通过弹簧杆62的自身弹力作用下,使得弹簧杆62带动夹片61对准并将集成电路硅片电镀设备夹持住进行固定,可根据不同规格的集成电路硅片电镀进行调整其两组承接杆63之间的间距,加强整个装置使用时的通用性,最后,将固定好集成电路硅片电镀设备的安装架3一端对准从插槽9插入主箱体1内,使得安装架3一端插入固定孔21内固定即可,通过固定孔21对其进行卡合即可,方便安装的同时也方便取出。
22.工作原理:准备使用时,将整个1平放好后,通过外接插头为整个装置提供电能,工作人员通过按压控制按钮2开启或关闭整个装置的工作。
23.准备清洗前,工作人员现将外接管与进液口11连接,往清洗液箱8内灌入适宜的清洗液后,通过弹簧杆62的自身弹力作用下,将准备清洗的集成电路硅片电镀设备放置在两组夹片61之间,通过弹簧杆62的自身弹力作用下,使得弹簧杆62带动夹片61对准并将集成电路硅片电镀设备夹持住进行固定,最后,将固定好集成电路硅片电镀设备的安装架3一端对准从插槽9插入主箱体1内,使得安装架3一端插入固定孔21内固定即可。
24.紧接着,工作人员通过按压控制按钮2开启步进电机16以及清洗液箱8的工作,步进电机16的输出端通过主旋转轴18带动两组第一锥形齿轮17同步竖向旋转,由于第一锥形齿轮17和第二锥形齿轮19之间相互啮合作用,使得第二锥形齿轮19随着第一锥形齿轮17的竖向旋转而换向,并带动丝杆22和安装架3进行同步的横向旋转,从而使得丝母13随着丝杆22的旋转而同步往前移动,此时,水泵12的输出端将清洗液箱8内的清洗液通过导液管4输送至喷头10内,并进行均匀的喷洒,使得丝杆22表面套设有的丝母13带动喷头10随着螺纹进行横向移动,并对同时也旋转中的安装架3内部,通过弹簧杆62固定有的集成电路硅片电
镀进行喷洒清洗,使得集成电路硅片电镀清洗均匀,而清洗后的液体则通过滤网14落入废液箱15内,且在丝母13移动过程中带动导液管4在管道放置架5旋转,并从管道放置架5上抽出,等管道放置架5表面的导液管4抽出完后,工作人员再次按压控制按钮2,开启步进电机16进行反转操作,如上述操作,使得安装架3和丝杆22进行反转,从而使得丝母13随着丝杆22的反转往回移动,等丝母13恢复原位后,集成电路硅片电镀设备刚好清洗完毕,工作人员按压控制按钮2关闭清洗液箱8和步进电机16的工作,如上述操作,将安装架3整体取出,再将集成电路硅片电镀设备从安装架3上取下即可,以上为本高新技术的全部工作原理。
25.对于本领域技术人员而言,显然本高新技术不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本高新技术的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本高新技术。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本高新技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本高新技术内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

技术特征:
1.一种集成电路硅片电镀用清洗槽,包括主箱体(1)、控制按钮(2)、清洗液箱(8)、滤网(14)和步进电机(16),所述控制按钮(2)的输出端通过导线分别与清洗液箱(8)和步进电机(16)的输入端电连接,其特征在于:所述主箱体(1)的正面设置有控制按钮(2),所述主箱体(1)左侧的底部安装有步进电机(16),且步进电机(16)的输出端安装有主旋转轴(18),所述主旋转轴(18)的表面套设有第一锥形齿轮(17),所述主箱体(1)右侧的内部底端由左至右分别设置有废液箱(15)和清洗液箱(8),所述废液箱(15)的表面通过滤网(14)与主箱体(1)内部相连通,所述清洗液箱(8)的一侧设置有进液口(11),且进液口(11)上方的主箱体(1)表面开设有插槽(9),所述清洗液箱(8)的内部安装有水泵(12),且水泵(12)的输出端安装有导液管(4),所述废液箱(15)和清洗液箱(8)上方的主箱体(1)内部通过轴承横向安装有丝杆(22),且丝杆(22)的一端安装有承接轴(20),所述丝杆(22)的另一端套设有丝母(13),且丝母(13)的表面设置有喷头(10),所述丝杆(22)上方的主箱体(1)内部通过轴承安装有安装架(3),且安装架(3)的一端贯穿插槽(9)延伸至主箱体(1)表面,所述安装架(3)内部的中间位置处设置有内置框架(7),且内置框架(7)的内部安装有夹具组件(6)。2.根据权利要求1所述的一种集成电路硅片电镀用清洗槽,其特征在于:所述导液管(4)远离水泵(12)的一端贯穿插槽(9)和丝母(13)表面,且导液管(4)与喷头(10)相连通。3.根据权利要求1所述的一种集成电路硅片电镀用清洗槽,其特征在于:所述夹具组件(6)包括有夹片(61)、弹簧杆(62)和承接杆(63),所述内置框架(7)内部的两侧皆横向安装有承接杆(63),且承接杆(63)的中间位置处插设有弹簧杆(62),所述弹簧杆(62)的一侧皆设置有夹片(61)。4.根据权利要求1所述的一种集成电路硅片电镀用清洗槽,其特征在于:所述进液口(11)上方的插槽(9)表面通过轴承铰接有管道放置架(5),且管道放置架(5)的表面均匀缠绕有导液管(4)。5.根据权利要求1所述的一种集成电路硅片电镀用清洗槽,其特征在于:所述第一锥形齿轮(17)和第二锥形齿轮(19)皆设置有两组,所述第一锥形齿轮(17)的表面皆设置有齿牙,所述第二锥形齿轮(19)表面设置有与第一锥形齿轮(17)相配适的齿牙,所述第一锥形齿轮(17)和第二锥形齿轮(19)之间通过齿牙相互啮合。6.根据权利要求1所述的一种集成电路硅片电镀用清洗槽,其特征在于:所述承接轴(20)设置有两组,两组所述承接轴(20)的一端分别与第二锥形齿轮(19)连接,其中一组所述承接轴(20)的一端开设有固定孔(21),且固定孔(21)的内部内嵌有安装架(3)。
技术总结
本高新技术公开了一种集成电路硅片电镀用清洗槽,包括主箱体、控制按钮、清洗液箱、滤网和步进电机,所述控制按钮的输出端通过导线分别与清洗液箱和步进电机的输入端电连接,所述主箱体的正面设置有控制按钮,所述主箱体左侧的底部安装有步进电机。本高新技术通过将安装架设置为可拆卸式的结构,可直接将安装架对准插入主箱体内,通过固定孔对其进行卡合即可,方便安装的同时也方便取出,同时通过弹簧杆的自身弹力作用下,可根据不同规格的集成电路硅片电镀进行调整其两组承接杆之间的间距,加强整个装置使用时的通用性。加强整个装置使用时的通用性。加强整个装置使用时的通用性。

技术开发人、权利持有人:陈骆峥晗

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