高新单晶硅片清洗用固定装置技术

高新单晶硅片清洗用固定装置技术

1.本高新技术涉及单晶硅片制造领域,尤其涉及一种单晶硅片清洗用固定装置。

背景技术:

2.单晶硅是一种比较活泼的非金属元素,是晶体材料的重要组成部分,处于新材料发展的前沿。其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等。由于太阳能具有清洁、环保、方便等诸多优势,近三十年来,太阳能利用技术在研究开发、商业化生产、市场开拓方面都获得了长足发展,成为世界快速、稳定发展的新兴产业之一。
3.单晶硅片:硅的单晶体,是一种具有基本完整的点阵结构的晶体。不同的方向具有不同的性质,是一种良好的半导材料。纯度要求达到99.9999%,甚至达到99.9999999%以上。
4.单晶硅片在制作过程中需要对其进行多次清洗,清洗时首先需要将单晶硅片放置在固定装置内,保持其稳定性,再将其在清洗架上排好放入清洗机内进行清洗。现有的固定装置在使用中发现具有如下缺点:其通常为一体成型式结构,每个固定装置只能放置同一尺寸规格的单晶硅片,限制了其使用灵活性,此外,当一批需要清洗的单晶硅片中,某种尺寸规格的单晶硅片较少时,由于其只能放置在此种规格的专用固定装置内,无法实现与其他规格的固定装置组合使用,则会出现一个固定装置内仅放置数片甚至一片进行清洗的情况,造成水资源的大量浪费,极大的降低了工作效率。

技术实现要素:

5.根据以上技术问题,本高新技术提供一种单晶硅片清洗用固定装置,包括主体框架、第一安装孔、连接板、第二安装孔、固定螺栓,所述主体框架由左框架、右框架两部分构成立方体结构,所述左框架、右框架相对于主体框架的中线完全对称,所述左框架、右框架又分别包括顶板、侧板i、侧板ii、底板、滑槽、限位槽,所述顶板与底板呈上、下平行设置,所述侧板i为一组共2个,分别位于顶板与底板的前、后两端,所述侧板ii的四个端面分别与顶板、底板以及前、后侧板i相连接,所述顶板、侧板i、侧板ii、底板为一体式结构;
6.所述顶板底部开设有滑槽,所述顶板向下开设有限位槽,所述限位槽横向贯穿于侧板ii,纵向贯穿于底板;
7.所述侧板i开设有n组第一安装孔,n≥1,每组第一安装孔的数量为2个,2个第一安装孔相对于主体框架的中线对称设置,所述连接板上与第一安装孔对应的位置开设有第二安装孔,通过将固定螺栓穿过第一安装孔、第二安装孔实现左框架、右框架的固定连接。
8.进一步的,所述滑槽为u型结构。
9.进一步的,所述限位槽的两端为v型结构。
10.进一步的,所述第一安装孔的数量为2组。
11.进一步的,所述主体框架、连接板、固定螺栓的材质均为硬质塑料。
12.本高新技术的有益效果为:本高新技术为一种单晶硅片清洗用固定装置,通过将主体框架分为互为镜像的两部分,并通过连接板将此两部分进行固定连接,连接板可根据
具体要求制作出一系列的标准尺寸,这样使得每个主体框架的尺寸可调,根据具体情况更换连接板,使每个主体框架适用于不同的尺寸规格的单晶硅片,增加了其使用灵活性,并且由于连接板的尺寸为常用标准尺寸,可以实现不同尺寸规格的固定装置组合使用,避免出现某种尺寸规格的单晶硅片较少时,一个固定装置内仅放置数片甚至一片进行清洗的情况,避免了水资源的大量浪费,极大的提高了工作效率。
附图说明
13.图1为本高新技术主体结构图;
14.图2为本高新技术去掉连接板后的结构示意图;
15.图3为本高新技术侧视图;
16.图4为本高新技术俯视图;
17.图5为连接板结构示意图。
18.如图,主体框架-1、左框架-11、右框架-12、顶板-101、侧板i-102、侧板ii-103、底板-104、滑槽-105、限位槽-106、第一安装孔-2、连接板-3、第二安装孔-4、固定螺栓-5。
具体实施方式
19.下面结合附图所示,对本高新技术进行进一步说明:本高新技术为一种单晶硅片清洗用固定装置,包括主体框架1、第一安装孔2、连接板3、第二安装孔4、固定螺栓5,所述主体框架1由左框架11、右框架12两部分构成立方体结构,所述左框架11、右框架12相对于主体框架1的中线完全对称,所述左框架11、右框架12又分别包括顶板101、侧板i102、侧板ii103、底板104、滑槽105、限位槽106,所述顶板101与底板104呈上、下平行设置,所述侧板i102为一组共2个,分别位于顶板101与底板104的前、后两端,所述侧板ii103的四个端面分别与顶板101、底板104以及前、后侧板i102相连接,所述顶板101、侧板i102、侧板ii103、底板104为一体式结构;
20.所述顶板101底部开设有滑槽105,所述顶板101向下开设有限位槽106,所述限位槽106横向贯穿于侧板ii103,纵向贯穿于底板104;
21.所述侧板i102开设有n组第一安装孔2,n≥1,每组第一安装孔2的数量为2个,2个第一安装孔2相对于主体框架1的中线对称设置,所述连接板3上与第一安装孔2对应的位置开设有第二安装孔4,通过将固定螺栓5穿过第一安装孔2、第二安装孔4实现左框架11、右框架12的固定连接。
22.进一步的,所述滑槽105为u型结构。
23.进一步的,所述限位槽106的两端为v型结构。
24.进一步的,所述第一安装孔2的数量为2组。
25.进一步的,所述主体框架1、连接板3、固定螺栓5的材质均为硬质塑料。
26.工作原理:首先通过连接板3及固定螺栓5将左框架11、右框架12进行固定连接,将需要清洗的单晶硅片依次放置在限位槽106内,限位槽106的两端为v型结构,可以更好的贴合单晶硅片的倒角,实现有效限位,同时限位槽106可以在清洗过程中实现沥水的效果,将放好单晶硅片的主体框架1由滑槽105处推入至清洗架内排好,将清洗架放入清洗机内进行清洗即可。需要说明的是:连接板3是预先根据具体要求制作出的一系列的标准尺寸的连接
件,而非单一尺寸的连接件,这样使得每个主体框架1的尺寸可调,根据具体情况更换连接板3,使每个主体框架1适用于不同的尺寸规格的单晶硅片,增加了其使用灵活性,并且由于连接板3的尺寸为常用标准尺寸,可以实现不同尺寸规格的固定装置组合使用,避免出现某种尺寸规格的单晶硅片较少时,一个固定装置内仅放置数片甚至一片进行清洗的情况,避免了水资源的大量浪费,极大的提高了工作效率。
27.以上所述仅是本高新技术的优选实施方式,应当指出的是,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本高新技术原理的前提下,还可以做出若干改进,这些改进也应视为本高新技术的保护范围。

技术特征:
1.一种单晶硅片清洗用固定装置,其特征在于,包括主体框架、第一安装孔、连接板、第二安装孔、固定螺栓,所述主体框架由左框架、右框架两部分构成立方体结构,所述左框架、右框架相对于主体框架的中线完全对称,所述左框架、右框架又分别包括顶板、侧板i、侧板ii、底板、滑槽、限位槽,所述顶板与底板呈上、下平行设置,所述侧板i为一组共2个,分别位于顶板与底板的前、后两端,所述侧板ii的四个端面分别与顶板、底板以及前、后侧板i相连接,所述顶板、侧板i、侧板ii、底板为一体式结构;所述顶板底部开设有滑槽,所述顶板向下开设有限位槽,所述限位槽横向贯穿于侧板ii,纵向贯穿于底板;所述侧板i开设有n组第一安装孔,n≥1,每组第一安装孔的数量为2个,2个第一安装孔相对于主体框架的中线对称设置,所述连接板上与第一安装孔对应的位置开设有第二安装孔,通过将固定螺栓穿过第一安装孔、第二安装孔实现左框架、右框架的固定连接。2.按照权利要求1所述的一种单晶硅片清洗用固定装置,其特征在于,所述滑槽为u型结构。3.按照权利要求1所述的一种单晶硅片清洗用固定装置,其特征在于,所述限位槽的两端为v型结构。4.按照权利要求1所述的一种单晶硅片清洗用固定装置,其特征在于,所述第一安装孔的数量为2组。5.按照权利要求1所述的一种单晶硅片清洗用固定装置,其特征在于,所述主体框架、连接板、固定螺栓的材质均为硬质塑料。
技术总结
一种单晶硅片清洗用固定装置,包括主体框架、第一安装孔、连接板、第二安装孔、固定螺栓,主体框架由左框架、右框架两部分构成,左框架、右框架又分别包括顶板、侧板I、侧板II、底板、滑槽、限位槽,顶板、侧板I、侧板II、底板为一体式结构,顶板底部开设有滑槽,顶板向下开设有限位槽,限位槽横向贯穿于侧板II,纵向贯穿于底板,侧板I开设有N组第一安装孔,N≥1,连接板上与第一安装孔对应的位置开设有第二安装孔,通过将固定螺栓穿过第一安装孔、第二安装孔实现左框架、右框架的固定连接。本高新技术可以使每个主体框架适用于不同的尺寸规格的单晶硅片,增加了其使用灵活性,同时避免了水资源的大量浪费,极大的提高了工作效率。极大的提高了工作效率。极大的提高了工作效率。

技术开发人、权利持有人:王海军 薛佳勇 薛佳伟

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